[发明专利]有机器件的制造方法、有机器件的制造装置以及有机器件

权利要求书

1.一种有机器件的制造方法，其特征在于，

该有机器件的制造方法包括以下工序：

输入工序，在该输入工序中，输入在第1密封层之上形成有中间层的基板，该第1密封层用于将一个或多个隔离壁部和阳极上的有机层密封；

回蚀工序，在该回蚀工序中，对形成在上述基板上的中间层进行回蚀；以及

成膜工序，在该成膜工序中，在上述中间层上形成第2密封层，

执行上述回蚀工序，直至上述一个或多个隔离壁部中的至少一个隔离壁部上的第1密封层的至少一部分自上述中间层暴露，并且上述第1密封层的顶端部自上述中间层突出，

在上述成膜工序中，以自上述中间层突出的第1密封层的顶端部的一部分埋入到上述第2密封层中的方式形成上述第2密封层。

2.根据权利要求1所述的有机器件的制造方法，其特征在于，

在上述输入工序中，输入形成有第1隔离壁部和一个或多个第2隔离壁部的基板，该第1隔离壁部与上述有机层相邻，该一个或多个第2隔离壁部位于该第1隔离壁部的外侧并以包围上述有机层的方式设于该第1隔离壁部与电极焊盘部之间。

3.根据权利要求2所述的有机器件的制造方法，其特征在于，

上述一个或多个第2隔离壁部的宽度形成得窄于上述第1隔离壁部的宽度。

4.根据权利要求2所述的有机器件的制造方法，其特征在于，

上述一个或多个第2隔离壁部的顶端侧形成得比根部侧细。

5.根据权利要求3所述的有机器件的制造方法，其特征在于，

上述一个或多个第2隔离壁部的顶端侧形成得比根部侧细。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的有机器件的制造方法，其特征在于，

在上述回蚀工序中，对回流后的被平坦化了的上述中间层进行回蚀。

7.一种有机器件的制造装置，其特征在于，

该有机器件的制造装置包括：

第1成膜装置，其用于形成第1密封层，该第1密封层用于将在基板之上形成的一个或多个隔离壁部和在基板之上形成的阳极之上的有机层密封；

第2成膜装置，其用于在上述第1密封层之上涂敷中间层；

蚀刻装置，其用于对上述中间层进行回蚀；以及

第3成膜装置，其用于在上述中间层上形成第2密封层，

上述蚀刻装置对上述中间层进行回蚀，直至上述一个或多个隔离壁部中的至少一个隔离壁部上的第1密封层的至少一部分自上述中间层暴露，并且暴露出的上述第1密封层的顶端部自上述中间层突出，

上述第3成膜装置以自上述中间层突出的第1密封层的顶端部的一部分埋入到上述第2密封层中的方式形成上述第2密封层。