[发明专利]太阳能硅片线切割导辊专用镀膜机和电镀机

权利要求书

1.一种太阳能硅片线切割导辊的专用镀膜机，用于复合聚氨酯制成的V型导辊基体（1）表面金属化，其特征是：包括真空室（2）以及抽真空机组（3），真空室（2）内设有一对安装V型导辊基体（1）的导辊自公转机架（4），导辊自公转机架（4）上对应设置至少一组安装V型导辊基体（1）的夹具（41），真空室（2）内安装有至少一个磁控靶位（21）以及与磁控靶位（21）对应设置的金属靶位（22），真空室（2）外设有控制磁控靶位（21）工作的磁控电源柜（23）。

2.如权利要求1所述的专用镀膜机，其特征是：所述的导辊自公转机架（4）上设置有四组安装V型导辊基体（1）的夹具（41）。

3.如权利要求1或2所述的专用镀膜机，其特征是：所述的磁控靶位（21）数量为四个，四个磁控靶位（21）均匀围绕在导辊自公转机架（4）的周向，金属靶位（22）可配置镍靶、钛靶、铜靶、铬靶中的一种或多种组合的金属。

4.一种太阳能硅片线切割导辊的专用电镀机，用于在已表面金属化的V型导辊基体（1）表面电镀耐磨复合层（1-2），其特征是：包括电镀槽（5）、电镀电源（6）、设置在电镀槽（5）内的镍电极（51）、支撑镍电极（51）的电极支架（52）和电镀液循环泵（53），镍电极（51）具有安装V型导辊基体（1）的空腔，镍电极（51）的两端设有支撑V型导辊基体（1）并驱动V型导辊基体（1）转动的导辊支架（54），镍电极（51）和V型导辊基体（1）之间的空腔内具有隔离网（51-1），所述的电镀槽（5）内具有电镀液，镍电极（51）的两端分别为电镀液的进液口（51-2）和出液口（51-3），出液口（51-3）与电镀槽（5）连通，进液口（51-2）与电镀槽（5）通过电镀液循环泵（53）连通，所述的电镀电源（6）的正极与V型导辊基体（1）电连接，电镀电源（6）的负极与镍电极（51）电连接。

5.如权利要求4所述的太阳能硅片线切割导辊的专用电镀机，其特征是：所述的电镀液为镍复合电镀液，电镀液中含有碳化硅和/或金刚石微粒以及聚四氟乙烯树脂。

6.如权利要求5所述的太阳能硅片线切割导辊的专用电镀机，其特征是：还具有控制镍电极（51）内电镀液中碳化硅和/或金刚石微粒浓度的微粒添加装置，所述的微粒添加装置包括微粒贮存器和实时微粒含量探测控制器，所述的微粒贮存器与镍电极（51）的空腔连通，所述的实时微粒含量探测控制器设置在镍电极（51）空腔内的电镀液中并与微粒贮存器控制连接。

7.如权利要求4所述的太阳能硅片线切割导辊的专用电镀机，其特征是：所述的电镀槽（5）上设有测量电镀液的pH计（7）和温度计（8）。