[发明专利]一种指向性MEMS麦克风在审
| 申请号： | 201410126541.9 | 申请日： | 2014-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN103888880A | 公开（公告）日： | 2014-06-25 |
| 发明（设计）人： | 侯杰 | 申请（专利权）人： | 山东共达电声股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 魏晓波 |
| 地址： | 261000 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 指向 mems 麦克风 | ||
1.一种指向性MEMS麦克风，包括电路板、与所述电路板密封相连的外壳、均设置在所述电路板上且彼此电联接的MEMS传感器和ASIC芯片，其特征在于，所述外壳包括设置有第一音孔的主外壳和设置有第二音孔的辅外壳；
所述主外壳与所述电路板围成第一空腔，所述MEMS传感器和所述ASIC芯片设置在所述第一空腔中；
所述辅外壳与所述电路板围成第二空腔；
所述MEMS传感器与所述电路板共同围成第三空腔；
所述电路板内部设置有连通所述第二空腔与所述第三空腔的传输通道。
2.根据权利要求1所述的指向性MEMS麦克风，其特征在于，所述第一音孔和/或所述第二音孔上设置有阻尼网。
3.根据权利要求2所述的指向性MEMS麦克风，其特征在于，所述阻尼网设置在所述外壳的内壁上。
4.根据权利要求1所述的指向性MEMS麦克风，其特征在于，所述第二空腔和所述第三空腔的体积之和不大于所述第一空腔的体积。
5.根据权利要求1所述的指向性MEMS麦克风，其特征在于，所述辅外壳设置于所述主外壳外靠近所述MEMS传感器的一侧。
6.根据权利要求1所述的指向性MEMS麦克风，其特征在于，所述辅外壳设置于所述主外壳外靠近所述ASIC芯片的一侧。
7.根据权利要求1所述的指向性MEMS麦克风，其特征在于，包括多个与所述电路板密封相连的所述辅外壳。
8.根据权利要求1所述的指向性MEMS麦克风，其特征在于，所述主外壳和所述辅外壳为一体式结构。
9.根据权利要求1所述的指向性MEMS麦克风，其特征在于，所述主外壳和所述辅外壳之间设置有间隙。
10.根据权利要求1所述的指向性MEMS麦克风，其特征在于，所述主外壳和所述辅外壳粘接为一体。
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