[发明专利]运动平台系统的平面定位补偿方法

权利要求书

1.运动平台系统的平面定位补偿方法，所述运动平台系统包括运动平台以及对所述运动平台上的物体进行测量的测量机台，其特征在于，所述方法包括：

a、选定标准量具，使其随运动平台一起运动，所述标准量具上具有多个精密等间距图案；

b、使用测量机台的图案识别系统识别所述标准量具上的各个所述图案在运动平台中的识别坐标值；

c、由所述识别坐标值拟合出图案间距和各个图案的修正坐标值；

d、由所述修正坐标值与所述识别坐标值的差值，得出各个图案位置处需要的补偿量。

2.根据权利要求1所述的运动平台系统的平面定位补偿方法，其特征在于，所述标准量具为标准硅片，其表面刻蚀尺寸精密的图案，所述图案在水平和垂直方向等间距重复出现。

3.根据权利要求1所述的运动平台系统的平面定位补偿方法，其特征在于，在所述步骤b中，所述图案识别系统的扫描队列中包括所有的相同图案。

4.根据权利要求1至3任一项所述的运动平台系统的平面定位补偿方法，其特征在于，所述识别坐标值(x,y)满足下式：

其中，X，Y为测量机台的正交坐标系的坐标值，x，y为运动平台坐标系的坐标值，X轴与x轴的角度为θ₁，Y轴与y轴平行。

5.根据权利要求4所述的运动平台系统的平面定位补偿方法，其特征在于，所述识别坐标值(x,y)满足下式：

其中，正交坐标系旋转角度θ₂。

6.根据权利要求5所述的运动平台系统的平面定位补偿方法，其特征在于，以所有扫描图案中坐标值最接近(0，0)的点为基准点(x₀，y₀)，所述拟合出的修正坐标值满足下式：

其中，D_x,y是所述图案的长宽，n_x,y是离散化的所有图案。

7.根据权利要求6所述的运动平台系统的平面定位补偿方法，其特征在于，所述补偿量由下式计算：

δxδy=xy-x‾y‾,]]>

其中，(x,y)为所述识别坐标值，为所述修正坐标值，其由下式计算：

x‾y‾=cos(θ1-θ2)sin(θ2)sin(θ1-θ2)cos(θ2)-1nxDx+x0nyDy+y0.]]>