[发明专利]微滴喷射与化学沉积技术制备柔性导电线路的方法及装置

权利要求书

1.微滴喷射与化学沉积技术制备柔性导电线路的方法，其特征在于，基于气压驱动双喷头微滴喷射装置，所述气压驱动双喷头微滴喷射装置先后控制金属盐溶液与还原剂溶液喷出，并按照相同的沉积轨迹沉积，沉积的还原剂微滴与金属盐微滴发生化学反应，形成柔性导电线路；

所述气压驱动双喷头微滴喷射装置包括三维移动平台(5)，所述三维移动平台(5)侧面设置有CCD照相机(6)，所述三维移动平台(5)上方设置有坩埚A(8)和坩埚B(9)，所述坩埚A(8)通过接气管A(1)连接气泵A(12)，所述气泵A(12)与所述坩埚A(8)之间的接气管A(1)上依次设置有电磁阀A(2)和排气阀A(10)，所述坩埚B(9)通过接气管B(14)连接气泵B(13)，所述气泵B(13)与所述坩埚B(9)之间的接气管B(14)上依次设置有电磁阀B(3)与排气阀B(11)；所述电磁阀A(2)、电磁阀B(3)、三维移动平台(5)和CCD照相机(6)均与控制设备(7)相连接；所述坩埚A(8)与坩埚B(9)分别镶嵌有喷嘴；所述气泵A(12)与气泵B(13)分别连接有压力表；具体制备方法包括以下步骤：

步骤1：将基板(4)搭载在三维移动平台(5)上，并在坩埚A(8)与坩埚B(9)中分别盛装金属盐溶液与还原剂溶液；

步骤2：打开气泵A(12)与气泵B(13)，根据压力表的示数，调节气压至合适范围；

步骤3：启动控制设备(7)及三维移动平台(5)，控制设备(7)控制金属盐溶液喷出，金属盐微滴按照三维移动平台(5)预设运动轨迹沉积在基板(4)上，金属盐溶液沉积完成后控制设备(7)停止工作；

步骤4：再次启动控制设备(7)及三维移动平台(5)，控制设备(7)控制还原剂溶液喷出，还原剂溶液的喷射轨迹与金属盐溶液的喷射轨迹相同，还原剂微滴按照金属盐微滴的沉积轨迹沉积在金属盐微滴上，还原剂微滴与金属盐微滴发生化学反应，形成柔性导电线路。

2.如权利要求1所述的微滴喷射与化学沉积技术制备柔性导电线路的方法，其特征在于，所述步骤1中金属盐溶液为银盐类溶液，具体为硝酸银、月桂酸银、肉豆蔻酸银，柠檬酸银中的任意一种。

3.如权利要求1所述的微滴喷射与化学沉积技术制备柔性导电线路的方法，其特征在于，所述步骤1中还原剂溶液为乙二醇、NaBH4、三乙胺，抗坏血酸中的任意一种。

4.如权利要求1所述的微滴喷射与化学沉积技术制备柔性导电线路的方法，其特征在于，所述步骤2中气压的压强为30KPa-250KPa。

5.一种使用如权利要求1所述方法制备柔性导电线路的气压驱动双喷头微滴喷射装置，其特征在于，包括三维移动平台(5)，所述三维移动平台(5)侧面设置有CCD照相机(6)，所述三维移动平台(5)上方设置有坩埚A(8)和坩埚B(9)，所述坩埚A(8)通过接气管A(1)连接气泵A(12)，所述气泵A(12)与所述坩埚A(8)之间的接气管A(1)上依次设置有电磁阀A(2)和排气阀A(10)，所述坩埚B(9)通过接气管B(14)连接气泵B(13)，所述气泵B(13)与所述坩埚B(9)之间的接气管B(14)上依次设置有电磁阀B(3)与排气阀B(11)；所述电磁阀A(2)、电磁阀B(3)、三维移动平台(5)和CCD照相机(6)均与控制设备(7)相连接；所述坩埚A(8)与坩埚B(9)分别镶嵌有喷嘴，气泵A(12)与气泵B(13)分别连接有压力表。