[发明专利]一种多晶铸锭炉用坩埚盖板制备方法

权利要求书

1.一种多晶铸锭炉用坩埚盖板的制备方法，其特征在于：该方法包括以下步骤：

步骤一、根据待生产的坩埚盖板尺寸，制备相应规格的预制体，预制体采用网胎与短切碳纤维叠放针刺的工艺，针刺密度为20-50针/cm²，厚度按压缩量20％～60％定制，密度控制在0.30g/cm³～0.60g/cm³，表面贴碳布，并作烘干处理；

步骤二、将制备好的预制件用树脂浸渍，保持1-6h；

步骤三、对浸渍后的预制体进行热压固化、碳化、高温处理；

步骤四、对步骤四后获得的预制体表面进行CVD涂层处理。

2.根据权利要求1所述的一种多晶铸锭炉用坩埚盖板的制备方法，其特征在于：所述的针刺碳纤维预制体为正方形板状，其边长范围为900～1550mm，厚度范围为5～20mm，体积密度范围为0.30g/cm³～0.6g/cm³。

3.根据权利要求1所述的一种多晶铸锭炉用坩埚盖板的制备方法，其特征在于：所用树脂为酚醛树脂或糠酮树脂。

4.根据权利要求1所述的一种多晶铸锭炉用坩埚盖板的制备方法，其特征在于：所述碳化、高温处理均需全程抽真空或惰性气体保护。

5.根据权利要求1所述的一种多晶铸锭炉用坩埚盖板的制备方法，其特征在于：所述步骤四的操作参数为：首先升温至850℃～1100℃，待保温4±2h后，通沉积气体开始涂层，涂层时间24～60h；所述沉积气体是碳原子数为1～4的所有有机气体分子。

6.根据权利要求1所述的一种多晶铸锭炉用坩埚盖板的制备方法，其特征在于：所述固化处理时，采用热压机对预制体进行热压固化，室温升温至90～120℃后保持1h，再升温至150～180℃保温2～6h；取出预制体后进行碳化处理：碳化温度为700℃～900℃，保温4±2h；最后对预制体进行高温处理：最高处理温度2000℃±200℃，保温2～4h。