[发明专利]一种铸锭过程中去除多晶硅硬质夹杂的方法

权利要求书

1.一种铸锭过程中去除多晶硅硬质夹杂的方法，其特征在于，包括以下步骤：

提供过滤网，在坩埚中填装硅料，将所述过滤网置于硅料底部或顶部，加热使所述硅料全部熔化形成硅液，所述过滤网在重力和浮力的作用下携带所述硅液中的硬质夹杂上浮于硅液顶部或下沉于硅液底部；所述过滤网的熔点大于硅的熔点，且对硅液无污染；

调节热场，使所述硅液进行定向凝固结晶，得到多晶硅。

2.如权利要求1所述的去除多晶硅硬质夹杂的方法，其特征在于，所述过滤网的网孔孔径为0.02～5cm。

3.如权利要求1所述的去除多晶硅硬质夹杂的方法，其特征在于，所述过滤网的网孔形状为圆形、椭圆形、正方形、长方形或其他不规则的形状。

4.如权利要求1所述的去除多晶硅硬质夹杂的方法，其特征在于，所述过滤网上还附加有外力的作用。

5.如权利要求4所述的去除多晶硅硬质夹杂的方法，其特征在于，所述外力由设置在坩埚上的提拉装置提供，所述提拉装置与所述过滤网固定连接。

6.如权利要求1～5任一项所述的去除多晶硅硬质夹杂的方法，其特征在于，所述过滤网是由C/C材料、碳纤维基复合材料、陶瓷基复合材料、石墨、碳化硅、氮化硅、氧化铝、二氧化硅和磷化镓中的至少一种制成。

7.如权利要求6所述的去除多晶硅硬质夹杂的方法，其特征在于，所述碳化硅、氮化硅、氧化铝、二氧化硅和磷化镓中的至少一种沉积在C/C材料、碳纤维、石墨纸或石墨布表面。

8.如权利要求1所述的去除多晶硅硬质夹杂的方法，其特征在于，在进行定向凝固结晶之前，将所述携带有硬质夹杂的过滤网提出硅液。

9.如权利要求1所述的去除多晶硅硬质夹杂的方法，其特征在于，所述过滤网的形状和大小和所述坩埚的形状和大小相近或相匹配。

10.如权利要求1所述的去除多晶硅硬质夹杂的方法，其特征在于，所述硅料为退仓硅料、回炉提纯硅料、残次硅料、冶金级硅料或金属级硅料。