[实用新型]一种真空烧结炉的抽真空系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及钽铌合金加工设备技术领域，更具体地说，涉及一种真空烧结炉的抽真空系统。

背景技术

目前，钽铌合金的烧结工艺有两个发展方向，一是气氛控制烧结，另一是真空加压烧结，在国内的生产企业，通常都采用真空加压烧结的方式加工钽铌合金。真空烧结是钽铌合金生产加工中的关键工序，烧结的工艺控制关系到合金的品质，对产品的最终质量具有决定性的作用。

采用真空烧结所使用的真空烧结炉，具有承受高温高压的性能，在烧结炉开启之前需要将烧结炉炉内抽成真空。现有真空烧结炉的抽真空系统通常是使用抽真空泵直接抽出空气，在空气进入真空泵之前没有过滤装置，这样容易将飞尘等杂质带入到真空泵内而损坏真空泵。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题针对现有真空烧结炉的抽真空系统容易损坏真空泵的问题，提供一种真空烧结炉的抽真空系统。

本实用新型的技术方案如下所述：一种真空烧结炉的抽真空系统，所述抽真空系统包括：第一级罗茨泵、第二级罗茨泵、过滤装置和真空烧结炉连接管道，所述第一级罗茨泵与所述第二级罗茨泵串联设置，所述第二级罗茨泵与所述过滤装置相连接。

所述真空烧结炉连接管道的第一端与真空烧结炉的炉膛相连通，所述真空烧结炉连接管道的第二端与所述过滤装置相连接。

所述过滤装置内相互挤压地设置有若干根直径为60mm～80mm的棉芯，所述棉芯为过滤载体。

所述真空烧结炉连接管道上设置有一段柔性波纹管A，在所述第一级罗茨泵与所述第二级罗茨泵的连接管道上设置有一段柔性波纹管B。

本实用新型通过设置过滤装置，以及在过滤装置内相互挤压地设置若干根直径为60mm～80mm的棉芯，使得对烧结炉抽真空处理时，烧结炉内的飞尘以及重金属杂质在过滤装置处被隔阻，从而不会带这些杂质进入到第一级罗茨泵和第二级罗茨泵内而损坏罗茨泵，提高了整个抽真空系统的安全性，延长了系统的使用寿命。

通过设置柔性波纹管A和柔性波纹管B，使得在抽真空时，第一级罗茨泵和第二级罗茨泵产生的震动不会被传递到烧结炉炉体而影响烧结炉的稳定性。且柔性波纹管A能够使被抽出的大颗粒杂质在该处被沉淀，而避免堵塞过滤装置。

附图说明

图1为本实用新型实施例真空烧结炉的抽真空系统的结构示意图；

图2为本实用新型实施例过滤装置的棉芯结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图以及实施方式对本实用新型进行进一步的描述。

实施例

本实施例提供了一种真空烧结炉的抽真空系统，请结合参考图1和图2，该真空烧结炉的抽真空系统包括：第一级罗茨泵1、第二级罗茨泵2、过滤装置3和真空烧结炉连接管道4，第一级罗茨泵1与第二级罗茨泵2串联设置，第二级罗茨泵2与过滤装置3相连接。

真空烧结炉连接管道4的第一端与真空烧结炉5的炉膛相连通，真空烧结炉连接管道4的第二端与过滤装置3相连接。

过滤装置3内相互挤压地设置有若干根直径为60mm～80mm的棉芯31，棉芯31为过滤载体。

真空烧结炉连接管道4上设置有一段柔性波纹管A6，在第一级罗茨泵1与第二级罗茨泵2的连接管道上设置有一段柔性波纹管B7。