[实用新型]摆动系统和刻蚀装置有效
| 申请号： | 201420105996.8 | 申请日： | 2014-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN203715725U | 公开（公告）日： | 2014-07-16 |
| 发明（设计）人： | 王其辉;于凯;李伟;宋泳珍;白忠飞;董志学;郑云亮;寇克瑜;孙鹏;陈程 | 申请（专利权）人： | 北京京东方显示技术有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/08 | 分类号： | C23F1/08;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 李迪 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 摆动 系统 刻蚀 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种摆动系统，其特征在于，包括驱动装置、转动板和转轴，所述驱动装置的输出轴与转动板连接，所述转轴的一端通过一连接件与所述转动板的两侧铰接。
2.如权利要求1所述的摆动系统，其特征在于，所述连接件包括连杆和叉头，所述叉头内侧与所述转动板的两侧可转动连接，所述连杆的一端与叉头的外侧端部连接，其另一端与所述转轴连接。
3.如权利要求2所述的摆动系统，其特征在于，所述叉头内侧与所述转动板的两侧分别通过轴承连接。
4.如权利要求2所述的摆动系统，其特征在于，所述转轴包括第一螺杆以及通过螺帽与所述第一螺杆连接的第二螺杆，所述第一螺杆的另一端与所述连杆连接。
5.如权利要求1所述的摆动系统，其特征在于，所述摆动系统还包括外壳，所述转动板和转轴均位于所述外壳内部。
6.如权利要求1所述的摆动系统，其特征在于，所述驱动装置为驱动电机。
7.一种刻蚀装置，其特征在于，包括如权利要求1-6任一项所述的摆动系统，所述转轴的另一端通过连接板与喷淋管连接。
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