[实用新型]半导体扩散用石英管清洗装置

权利要求书

1.一种半导体扩散用石英管清洗装置，其特征在于，包括一槽体、一电机、多个传动杆以及两个支撑面板；

所述电机设于所述槽体的一侧，两个支撑面板相对固定于所述槽体上，多个所述传动杆均固定于两个所述支撑面板上，所述电机上的传动轴连接一传动带，所述传动带与多个所述传动杆连接，并且带动多个所述传动杆转动；

所述槽体的边缘设有多个喷淋口，所述槽体的底部设有多个氮气鼓泡口、排酸出口以及排水出口。

2.如权利要求1所述的半导体扩散用石英管清洗装置，其特征在于：所述槽体、所述传动带以及所述传动杆均由聚丙烯材料制成。

3.如权利要求1所述的半导体扩散用石英管清洗装置，其特征在于：所述槽体的相对两侧分别设有3个所述喷淋口。

4.如权利要求1所述的半导体扩散用石英管清洗装置，其特征在于：多个氮气鼓泡口均匀设置于所述槽体的底部。

5.如权利要求1所述的半导体扩散用石英管清洗装置，其特征在于：所述传动杆的数量为4个，并均匀分为两组，其中第一组的两个传动杆位于第二组的两个传动杆上方，且第一组的两个传动杆位于同一水平高度，第二组的两个传动杆位于同一水平高度。

6.如权利要求5所述的半导体扩散用石英管清洗装置，其特征在于：第一组的两个传动杆之间的间距大于第二组的两个传动杆之间的间距。