[实用新型]半导体扩散用石英管清洗装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种半导体扩散用石英管清洗装置，用于芯片制造领域。

背景技术

半导体扩散操作中，会用到一端开口的石英管，这是因为扩散工艺在高温，高纯，高压环境下进行，而石英不但高温下物理化学性质稳定，膨胀系数随温度和压力变化极小，且容易烧结制作。扩散工艺对系统的洁净度要求极高，过程中会有杂质在石英管管壁沉积，日积月累会影响器件的性能，所以需要定期对石英管进行清洗。

当前清洗石英管主要人工进行。首先，将石英管拆卸下来，将强酸溶液（一般是重铬酸钾和浓硫酸溶液或者王水）倒入，腐蚀24个小时，再用去离子水冲洗干净；然后，将稀释的氢氟酸溶液（一般1:10）倒入，腐蚀2个小时，再用去离子水反复冲洗干净；最后，用无水乙醇脱水，放置在氮气对流环境中烘干。而强酸和氢氟酸溶液对人体伤害较大，劳动强度较高，石英管在冲洗过程中也易碎，因此整个清洗质量很难得以保证。

因此有必要设计一种半导体扩散用石英管清洗装置，以克服上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术之缺陷，提供了一种清洗效率高，清洗彻底，并且可降低劳动强度，保护人身安全的半导体扩散用石英管清洗装置。

本实用新型是这样实现的：

本实用新型提供一种半导体扩散用石英管清洗装置，包括一槽体、一电机、多个传动杆以及两个支撑面板；所述电机设于所述槽体的一侧，两个支撑面板相对固定于所述槽体上，多个所述传动杆均固定于两个所述支撑面板上，所述电机上的传动轴连接一传动带，所述传动带与多个所述传动杆连接，并且带动多个所述传动杆转动；所述槽体的边缘设有多个喷淋口，所述槽体的底部设有多个氮气鼓泡口、排酸出口以及排水出口。

进一步地，所述槽体、所述传动带以及所述传动杆均由聚丙烯材料制成。

进一步地，所述槽体的相对两侧分别设有3个所述喷淋口。

进一步地，多个氮气鼓泡口均匀设置于所述槽体的底部。

进一步地，所述传动杆的数量为4个，并均匀分为两组，其中第一组的两个传动杆位于第二组的两个传动杆上方，且第一组的两个传动杆位于同一水平高度，第二组的两个传动杆位于同一水平高度。

进一步地，第一组的两个传动杆之间的间距大于第二组的两个传动杆之间的间距。

本实用新型具有以下有益效果：

所述半导体扩散用石英管清洗装置通过上述结构，使得其可以自动完成石英管的清洗作业，并且清洗效率较高，清洗较为彻底，同时也降低了劳动强度，保护了人身安全。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。

图1为本实用新型实施例提供的半导体扩散用石英管清洗装置的结构示意图；

图2为本实用新型实施例提供的传动杆的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如图1和图2，本实用新型实施例提供一种半导体扩散用石英管清洗装置，包括一槽体9、一电机1、多个传动杆8以及两个支撑面板6。

如图1和图2，所述电机1设于所述槽体9的一侧，两个支撑面板6相对固定于所述槽体9上，多个所述传动杆8均固定于两个所述支撑面板6上，所述电机1上的传动轴连接一传动带2，所述传动带2与多个所述传动杆8连接，并且带动多个所述传动杆8转动，所述传动杆8进一步带动放置于其上的石英管转动。在本较佳实施例中，所述传动杆8的数量为4个，并均匀分为两组，其中第一组的两个传动杆8位于第二组的两个传动杆8上方，且第一组的两个传动杆8位于同一水平高度，第二组的两个传动杆8位于同一水平高度；第一组的两个传动杆8之间的间距大于第二组的两个传动杆8之间的间距。其中，所述槽体9、所述传动带2以及所述传动杆8均由聚丙烯（PP）材料制成。

如图1和图2，所述槽体9的边缘设有多个喷淋口7，在本较佳实施例中，所述槽体9的相对两侧分别设有3个所述喷淋口7，所述喷淋口7用于喷射去离子水，所述喷淋口7均对准放入所述槽体9的石英管。