[实用新型]一种石英舟有效
申请号: | 201420360483.1 | 申请日: | 2014-07-01 |
公开(公告)号: | CN204155911U | 公开(公告)日: | 2015-02-11 |
发明(设计)人: | 沈少杰 | 申请(专利权)人: | 苏州矽美仕绿色新能源有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 韩国胜;张海英 |
地址: | 215400 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 石英 | ||
1.一种石英舟,包括两个固定框架(1)及连接于两个所述固定框架(1)之间的两根底部支撑杆(3)和两根侧部支撑杆(2),所述底部支撑杆(3)与侧部支撑杆(2)平行设置,其特征在于:所述侧部支撑杆(2)的内侧壁上沿其长度方向间隔设有若干个垂直贯通的第一插槽,所述底部支撑杆(3)的上壁上沿其长度方向间隔设有若干个水平贯通的第二插槽,所述第二插槽与第一插槽一一对应并构成固定太阳能电池片的限位机构;
所述第二插槽包括第二U型槽(6)和两个第二倾斜面(7),两个所述第二倾斜面(7)设置在所述第二U型槽(6)的槽口两侧并向外倾斜,两个所述第二倾斜面(7)以所述第二U型槽(6)的中心纵截面为对称面对称设置,两个所述第二倾斜面(7)所在平面间的夹角α为55°~65°,相邻所述第二U型槽(6)的对称面之间的距离l1为3~3.5mm;
所述侧部支撑杆(2)为圆柱体,所述第一插槽包括第一U型槽(4)和两个第一倾斜面(5),两个所述第一倾斜面(5)设置在所述第一U型槽(4)的槽口两侧并向外倾斜,两个所述第一倾斜面(5)以所述第一U型槽(4)的中心纵截面为对称面对称设置,两个所述第一倾斜面(5)的外廓线所在圆弧的延长线的交点与第一倾斜面(5)的外廓线的中点之间的连线间的夹角β为3°。
2.根据权利要求1所述的石英舟,其特征在于:两个所述第二倾斜面(7)所在的平面间的夹角α为60°,相邻所述第二U型槽(6)的对称面之间的距离l1为3.34mm。
3.根据权利要求1所述的石英舟,其特征在于:所述第二U型槽(6)的宽度d1为0.8mm。
4.根据权利要求1所述的石英舟,其特征在于:所述第二插槽的槽深l2为3mm。
5.根据权利要求1所述的石英舟,其特征在于:所述第一U型槽(4)的宽度d2为0.8mm。
6.根据权利要求1至5任一项所述的石英舟,其特征在于:所述侧部支撑杆(2)和底部支撑杆(3)分别为直径为14mm的圆柱体。
7.根据权利要求6所述的石英舟,其特征在于:所述底部支撑杆(3)为两根,并且,两根所述底部支撑杆(3)的中心轴线间的距离l3为31.8mm~32.2mm。
8.根据权利要求6所述的石英舟,其特征在于:所述侧部支撑杆(2)为两根,并且,两根所述侧部支撑杆(2)的中心轴线间的距离l4为165.9mm~166.1mm。
9.根据权利要求1所述的石英舟,其特征在于:所述第一插槽和所述第二插槽的个数分别为150个。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造