[实用新型]一种石英舟

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种载具，具体涉及一种石英舟，属于晶体硅太阳能电池技术领域，用于太阳能电池制作过程中的扩散工序。

背景技术

石英舟是扩散工艺的必备工具，无论是半导体器件的扩散，还是太阳能工艺的扩散都大量使用石英器件做为载体，石英舟耐高温不变形，不污染器件而且能重复使用，尤其是近几年来由于太阳能产业的迅速发展，人们使用石英舟的式样也越来越多。

石英舟是一种用于承载太阳能电池片的夹具，太阳能电池插放于石英舟上后，将承载太阳能电池片的石英舟放入扩散炉的反应腔中进行扩散制造。因此，石英舟是扩散时的常用用具，扩散是制造太阳能电池光电转换核心部件-PN结的工艺环节，是太阳能电池制造的关键技术。目前产线扩散工段使用三氯氧磷的磷原子向硅片表面进行扩散，现在产线使用的正常石英舟拥有100个卡槽，进行的是单面扩散，每个卡槽里插入两片硅片，也就是一个石英舟能插入200片硅片。但是单面扩散对于产线的洁净度要求非常高，这就要求生产车间具有严格的工艺卫生条件，从而致使现有石英舟的使用具有限制性，不能适用于所用工艺卫生条件的生产车间。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是针对技术现状提供一种对工作卫生条件无苛刻要求的使用双面扩散的石英舟，该石英舟在较差的工艺卫生条件下同样具有理想的转化效率。

本实用新型解决上述技术问题所采用的技术方案为：一种石英舟，包括两个固定框架及连接于所述两个固定框架之间的两根底部支撑杆和两根侧部支撑杆，所述底部支撑杆与侧部支撑杆平行设置，其特征在于：所述侧部支撑杆的内侧壁上沿其长度方向间隔设有若干个垂直贯通的第一插槽，所底部支撑杆的上壁上沿其长度方向间隔设有若干个水平贯通的第二插槽，所述第二插槽与第一插槽一一对应并构成固定太阳能电池片的限位机构；

所述第二插槽包括第二U型槽和两个第二倾斜面，两个所述第二倾斜面设置在所述第二U型槽的槽口两侧并向外倾斜，两个所述第二倾斜面以所述第二U型槽的中心纵截面为对称面对称设置，两个所述第二倾斜面间的夹角α为55°～65°，相邻第二U型槽的对称面之间的距离l1为3～3.5mm。

优选的，两个所述第二倾斜面间的夹角α为60°，相邻两个第二U型槽的对称面之间的距离l1为3.34mm。

优选的，所述第二U型槽的宽度d1为0.8mm。

优选的，所述第二倾斜面顶端到第二U型槽的底部之间的距离，即第二插槽的槽深l2为3mm。

优选的，所述侧部支撑杆为圆柱体，所述第一插槽包括第一U型槽和两个第一倾斜面，两个所述第一倾斜面设置在所述第一U型槽的槽口两侧并向外倾斜，两个所述第一倾斜面以所述第一U型槽的中心纵截面为对称面对称设置，两个所述第一倾斜面的外廓线所在圆弧的延长线的交点与第一倾斜面的外廓线的中点之间的连线间的夹角β为3°

优选的，所述第一U型槽的宽度d2为0.8mm。

优选的，所述侧部支撑杆和底部支撑杆分别为直径为14mm的圆柱体。

优选的，所述底部支撑杆为两根，并且，两根所述底部支撑杆的中心轴线间的距离l3为31.8mm～32.2mm。

优选的，所述侧部支撑杆为两根，并且，两根侧部支撑杆的中心轴线间的距离l4为165.9mm～166.1mm。

优选的，所述第一插槽和第二插槽的个数分别为150个，可以增大扩散产量。

与现有技术相比，本实用新型的优点在于：本石英舟调整了了用于限定太阳能电池片位置的插槽(包括第一插槽和第二插槽)的宽度和相邻插槽间的距离，没对限位机构(即一一对应的第一插槽和第二插槽)内只插放一片太阳能电池片，从而将现有的单面扩散变为双面扩散，本采用双面扩散的石英舟可适用于工艺卫生条件较差的生产车间，而且在同等工艺卫生条件下，本石英舟的转化效率要比采用单面扩散的传统石英舟高出0.2％左右，同时还可保持扩散方块电阻的稳定性。

附图说明

图1为本实用新型实施例石英舟的结构示意图；

图2为本实用新型实施例石英舟的侧视图；

图3为本实用新型实施例石英舟从固定框架方向看去的纵向剖视图；

图4为图2中A的放大示意图；

图5为图2中B的放大示意图；

图6为图2中A的结构示意图；

图7为图2中B的结构示意图。

具体实施方式

以下结合附图实施例对本实用新型作进一步详细描述。