[实用新型]晶圆通用提篮装置

权利要求书

1.一种晶圆通用提篮装置，其特征在于，包括：

一提篮，所述提篮包含两侧板及两支撑架，所述两侧板各设有夹取部，所述两支撑架分置于上、下两层，所述两支撑架各具有两连接杆及连接于所述两连接杆之间的一间隔杆，这些连接杆的两端分别连接于所述两侧板；以及

一载盘，所述载盘的底部设有两凹沟，所述载盘上设有容置空间及承接部，用于放置及承接晶圆匣，所述载盘放置于下层的所述支撑架上，所述载盘底部的凹沟与下层的所述支撑架的连接杆卡接配合。

2.如权利要求1所述之晶圆通用提篮装置，其特征在于：所述两侧板各具有两纵板部及连接于所述两纵板部之间的一横板部，所述两侧板设有侧孔，所述夹取部形成于所述些纵板部的上端。

3.如权利要求1所述之晶圆通用提篮装置，其特征在于：所述载盘的两端顶抵于所述两侧板的内缘。

4.如权利要求1所述之晶圆通用提篮装置，其特征在于：所述承接部设于所述容置空间的四角或相对的两侧，所述载盘设有一个、两个或多个所述容置空间。

5.一种晶圆通用提篮装置，其特征在于，包括：

一提篮，所述提篮包含两侧板及两支撑架，所述两侧板各设有夹取部，所述两支撑架分置于上、下两层，所述两支撑架各具有两连接杆及连接于所述两连接杆之间的一间隔杆，所述些连接杆的两端分别连接于所述两侧板；以及

两载盘，所述两载盘的底部各设有两凹沟，所述两载盘上各设有容置空间及承接部，用于放置及承接晶圆匣，所述两载盘分别置于所述两支撑架上，所述两载盘底部的凹沟与所述两支撑架的连接杆卡接配合。

6.如权利要求5所述之晶圆通用提篮装置，其特征在于：所述两侧板各具有两纵板部及连接于所述两纵板部之间的一横板部，所述两侧板设有侧孔，所述夹取部形成于所述些纵板部的上端。

7.如权利要求5所述之晶圆通用提篮装置，其中所述两载盘的两端顶抵于所述两侧板的内缘。

8.如权利要求5所述之晶圆通用提篮装置，其特征在于：所述承接部设于所述容置空间的四角或相对的两侧，所述两载盘各设有一个、两个或数个所述容置空间。

9.一种晶圆通用提篮装置，其特征在于，包括：

一提篮，所述提篮包含两侧板及两支撑架，所述两侧板各设有夹取部，所述两支撑架分置于上、下两层，所述两支撑架的两端分别连接于所述两侧板；以及

一载盘，用于承载晶圆匣，所述载盘放置于下层的所述支撑架上，所述载盘底部与所述支撑架之间设有卡接结构。

10.一种晶圆通用提篮装置，其特征在于，包括：

一提篮，所述提篮包含两侧板及两支撑架，所述两侧板各设有夹取部，所述两支撑架分置于上、下两层，所述两支撑架的两端分别连接于所述两侧板；以及

两载盘，用于承载晶圆匣，所述两载盘分别置于所述两支撑架上，所述两载盘底部与所述两支撑架之间分别设有卡接结构。