[实用新型]隔热装置及多晶硅铸锭炉

权利要求书

1.一种隔热装置，其特征在于，包括依次固定连接的至少两种不同导热系数的炭毡，所述炭毡之间通过炭条固定连接。 

2.根据权利要求1所述的隔热装置，其特征在于，所述隔热装置包括中间第一炭毡和两侧的两个第二炭毡，所述第一炭毡的导热系数大于所述第二炭毡的导热系数。 

3.根据权利要求2所述的隔热装置，其特征在于，所述第一炭毡导热系数为0.3W/m/k，所述第二炭毡导热系数为0.2W/m/k。 

4.根据权利要求1所述的隔热装置，其特征在于，所述隔热装置包括位于两侧的两个第三炭毡、中间的第一炭毡及分别夹于所述第一炭毡和第三炭毡之间的第二炭毡，所述第一炭毡导热系数最大，所述第三炭毡导热系数最小。 

5.一种多晶硅铸锭炉，包括石墨坩埚，所述石墨坩埚包括石墨侧板，其特征在于，所述多晶硅铸锭炉包括隔热装置，所述隔热装置安装于所述石墨侧板外围，包括依次固定连接的至少两种不同导热系数的炭毡，所述炭毡之间通过炭条固定连接，所述隔热装置上导热系数高的炭毡对应所述多晶硅铸锭炉内温度低的部分，所述隔热装置上导热系数低的炭毡对应所述多晶硅铸锭炉内温度高的部分。 

6.根据权利要求5所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于，所述隔热装置通过钼丝固定于所述石墨侧板上。 

7.根据权利要求5所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于，所述隔热装置在所述石墨侧板上可拆卸。 

8.根据权利要求5所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于，所述隔热装置包括中间第一炭毡和两侧的两个第二炭毡，所述第一炭毡的导热系数大于所述第二炭毡的导热系数。 

9.根据权利要求8所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于，所述第一炭毡导热系数为0.3W/m/k，所述第二炭毡导热系数为0.2W/m/k。 

10.根据权利要求5所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于，所述隔热装置包括位于两侧的两个第三炭毡、中间的第一炭毡及分别夹于所述第一炭毡和第三炭毡 之间的第二炭毡，所述第一炭毡导热系数最大，所述第三炭毡导热系数最小。