[实用新型]一种掩膜板

说明书

技术领域

本实用新型涉及真空蒸镀技术领域，具体涉及一种掩膜板。

背景技术

有机电致发光二极管（Organic Light-Emitting Diodes，简称 OLED）是自发光器件，不需要背光源，外观轻、薄，而传统的液晶显示器（LCD）需要背光源才能工作，外观尺寸较厚。有机发光二极管显示器的功耗低，视角宽，屏幕响应快，是最能符合人们未来对显示器功能要求的技术。因此，有机发光二极管有望在不久的将来取代液晶显示器，具有很高的市场潜力。

有机小分子发光二极管在制作过程中，目前较成熟的技术是采用真空蒸镀技术，在器件制备过程中，有机材料会淀积在位于蒸发源上方的基板上，为形成特有的图案，在基板下方紧贴有掩膜版，掩膜版上留有预先设计排版好的开口，最终有机材料会通过掩膜版上的开口区域，淀积到基板上面。

掩膜板在重力作用下有一定的下垂量，在重复使用过程中掩膜板液容易松弛变形，通常使用的方法是先对掩膜板进行拉伸张紧，用以控制其下垂量，然后再焊接固定到框架上，但是在张紧过程中，由于掩膜板受力产生变形是不可避免的趋势，掩膜板的变形会导致镀膜区域的边界有误差，有机材料在蒸镀时超出预定的区域，影响显示屏的分辨率及色彩均匀性。

实用新型内容

本实用新型旨在一定程度上解决上述问题，至少提供一种商业上的应用。

为此，本实用新型的发明目的在于克服现有技术的缺陷，提供一种掩膜板，该掩膜板在使用过程中、或者拉伸时不易变形。

为实现上述发明目的，本实用新型采用如下技术方案：一种掩膜板，所述掩膜板包括镀膜开口区和非镀膜区，所述非镀膜区分布于镀膜开口区的四周，其特征在于，所述非镀膜区上设置有相对镀膜开口区对称分布的减薄区。本实用新型通过在镀膜开口区的外围制作减薄的区域，用以吸收在张紧掩膜板过程中掩膜板的拉伸变形，保护镀膜开口区的精度。

进一步的，所述减薄区由蚀刻方法制得，蚀刻技术为现有技术，技术成熟，成本低廉，可以很便捷的得到减薄区。

进一步的，所述减薄区由磨削方法制得。

进一步的，所述减薄区中位于拉伸方向上的减薄区的形状为半弧形或矩形。

进一步的，所述减薄区中垂直于拉伸方向上的减薄区包含至少两个矩形减薄区。

本实用新型的有益效果是，本实用新型通过在镀膜开口区的外围制作减薄的区域，有效的减小了掩膜板开口区域图案变形，增加了张紧力的使用力度量，减小掩膜板在重力下引起的下垂量，增加了张紧工艺的可控性。

附图说明

图1为本实用新型的示意图；

图2为本实用新型的另一种结构示意图；

图3为本实用新型的又一种结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图详细说明本实用新型的机构和原理，为了更好的说明本实用新型，附图某些部件会有省略、放大或缩小，并不代表实际产品的尺寸；对于本领域技术人员来说，附图中某些公知结构及其说明可能省略是可以理解的。相同或相似的标号对应相同或相似的部件。

本实用新型所述掩膜板包括镀膜开口区1和非镀膜区2，镀膜开口区1为掩膜板上预先设计排版好的开口，有机材料会通过掩膜版上的镀膜开口区1淀积到基板上面; 所述非镀膜区2是指除镀膜开口区1以外的其他区域，非镀膜区2分布于镀膜开口区1的四周，非镀膜区2上设置有相对镀膜开口区1对称分布的减薄区，所述减薄区是指和其他非镀膜区2厚度相比较相对薄的区域。如图1所示，本实施例中，掩膜板整体成长方形，镀膜开口区1设置在长方形正中间，镀膜开口区1也成长方形，其具有长轴L和短轴L1，非镀膜区2对称设置在镀膜开口区1的四周，非镀膜区2内以镀膜开口区1的短轴L1为对称轴横向设置有两块减薄区3，非镀膜区2内以镀膜开口区1的长轴L为对称轴纵向设置有两块减薄区4，图中箭头方向表示拉伸方向，根据拉伸形变公式：△L=F/S；其中F为一定的拉力，S为拉伸对象的横截面积，△L为长度方向的拉伸变形量。F一定时，S越小则△L越大。本实用新型中减薄区由于厚度变薄，其横截面积变小，因此吸收的长度方向的变形增加。

在另一些实施方式中，如图2、图3所示，掩膜板沿拉伸方向两端的减薄区3的形状可以是半弧形，也可以是矩形，具体根据拉伸变形情况选择，如果变形曲线是弧形的，则选用半弧形减薄来吸收平衡变形。若变形曲线是接近直线，则选用矩形减薄来吸收平衡变形。垂直于拉伸方向两端的减薄区3使用四边形来吸收变形，四边形的个数不限，四边形的各边尺寸不限，根据具体变形情况排布。

显然，本实用新型的上述实施例仅仅是为了清楚地说明本实用新型所作的举例，而并非对本实用新型的实施方式的限定。对于本领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其他不同形式的变化和变动。凡在本实用新型的精神和原则范围内所做的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型权利要求的保护范围内。