[实用新型]一种用于化学气相沉积方法转移石墨烯薄膜的工装装置有效
| 申请号： | 201420776045.3 | 申请日： | 2014-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN204474755U | 公开（公告）日： | 2015-07-15 |
| 发明（设计）人： | 钟达;史浩飞;邵丽;张鹏飞;余杰 | 申请（专利权）人： | 重庆墨希科技有限公司;中国科学院重庆绿色智能技术研究院 |
| 主分类号： | C23C16/26 | 分类号： | C23C16/26;C23C16/01 |
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| 地址： | 401329 重*** | 国省代码： | 重庆;85 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 化学 沉积 方法 转移 石墨 薄膜 工装 装置 | ||
1.一种用于化学气相沉积方法转移石墨烯薄膜的工装装置，其特征在于：包括底板（1）、与底板固定连接的固定柱（2）、下夹具（3）和上夹具（4）；所述下夹具（3）为一方形凹块，凹块两边对应设置有孔（5），所述凹块的凹陷处便于刻蚀液流入用于刻蚀催化基底；所述上夹具（4）为一方形方块，方形方块与方形凹块的长宽尺寸相同，方形方块上在与方形凹块相对应的位置处设置有孔（5）；所述孔（5）可以穿过固定柱（2）。
2.根据权利要求1所述的用于化学气相沉积方法转移石墨烯薄膜的工装装置，其特征在于：所述与底板固定连接的固定柱（2）数量为6个；所述下夹具（3）和上夹具（4）上各设置有6个孔（5）。
3.根据权利要求1所述的用于化学气相沉积方法转移石墨烯薄膜的工装装置，其特征在于：所述与底板固定连接的固定柱（2）为圆形或方形；所述下夹具（3）和上夹具（4）上设置的孔（5）为圆形或方形。
4.根据权利要求1所述的用于化学气相沉积方法转移石墨烯薄膜的工装装置，其特征在于：所述与底板固定连接的固定柱（2）为圆形时，其直径为0.1 cm-3 cm。
5.根据权利要求1所述的用于化学气相沉积方法转移石墨烯薄膜的工装装置，其特征在于：所述底板（1）、与底板固定连接的固定柱（2）、下夹具（3）和上夹具（4）均采用耐酸碱腐蚀的工程塑料制成。
6.根据权利要求1所述的用于化学气相沉积方法转移石墨烯薄膜的工装装置，其特征在于：所述方形方块与方形凹块的厚度均为1 cm-50 cm。
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C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
