[发明专利]具有纳米多孔薄膜的嗅觉泄漏检测器

权利要求书

1.一种用于吸入和分析气体的嗅觉泄漏检测器(10)，包括用于吸入气体的嗅探头(12)、连接到嗅探头(12)的气体输送泵(13)、以及连接到真空泵(15、16)，用于在高真空室中分析被吸入的气体的质谱仪(14)；其中流过所述嗅探头(12)的气体被沿着具有透气孔(20)的薄膜(18)引导；其中所述薄膜(18)允许一部分气体流入所述真空泵(15、16)的预抽真空室，以便在高真空室中对气体进行质谱分析；其特征在于：所述透气孔(20)的直径(D)小于或等于空气在大气压力和室温下的自由行程(I)。

2.一种嗅觉泄漏检测器(10)，其特征在于：所述嗅觉泄漏检测器(10)为质谱分析型的逆流泄漏检测器。

3.如权利要求1所述的嗅觉泄漏检测器(10)，其特征在于：每个所述透气孔(20)的直径小于或等于20纳米。

4.如权利要求1所述的嗅觉泄漏检测器(10)，其特征在于：每个所述透气孔(20)的直径与所述薄膜(18)的所有透气孔(20)的平均直径相差至多50％，优选为相差小于20％。

5.如权利要求1所述的嗅觉泄漏检测器(10)，其特征在于：所有所述透气孔(20)的开口的总面积在所述薄膜(18)的整个表面积中所占的比例为至少25％，优选为至少40％。

6.如权利要求1所述的嗅觉泄漏检测器(10)，其特征在于：所述薄膜(18)为盘状，其厚度小于100微米，优选为小于50微米。

7.如权利要求1所述的嗅觉泄漏检测器(10)，其特征在于：所述薄膜为盘状的氧化铝纳米多孔薄膜。

8.如权利要求1所述的嗅觉泄漏检测器(10)，其特征在于：相邻的所述透气孔(20)之间的最小距离小于100纳米，优选为小于80纳米。

9.如权利要求1所述的嗅觉泄漏检测器(10)，其特征在于：所述薄膜(80)在其每一平方微米的表面积中具有至少20个，并且优选为至少25个所述透气孔(20)。

10.如权利要求1所述的嗅觉泄漏检测器(10)，其特征在于：所述透气孔(20)的直径和被吸入的气体的平均自由行程(I)的比值(克努森数)大于0.5；其中所述被吸入的气体的所述平均自由行程(I)和气压(p)的关系满足I·p＝6.65·10^-5m·mbar。