[发明专利]ESD保护装置

权利要求书

1.一种ESD保护装置，其特征在于，包括：

第一绝缘层；

与所述第一绝缘层相邻地进行重叠的第二绝缘层；

在厚度方向上贯穿所述第一绝缘层的第一过孔导体；

在所述第一绝缘层和所述第二绝缘层之间设为与所述第一过孔导体相接的、具有空洞的放电间隙部；

第一布线，该第一布线配置于所述第一绝缘层的与所述放电间隙部相反侧的面并与所述第一过孔导体电连接；以及

第二布线，该第二布线配置于所述第二绝缘层的任一面并至少包含隔着所述放电间隙部与所述第一过孔导体相对的部分,

所述第一过孔导体具有靠近所述放电间隙部的一侧变细的梯形形状。

2.如权利要求1所述的ESD保护装置，其特征在于，

包括第二过孔导体，该第二过孔导体在厚度方向上贯穿所述第二绝缘层，该第二过孔导体的厚度方向上的一端与所述第二布线电连接且另一端与所述放电间隙部相接，所述第二过孔导体经由所述放电间隙部与第一过孔导体相对，所述第二布线配置于所述第二绝缘层的与所述放电间隙部相反侧的面。

3.如权利要求2所述的ESD保护装置，其特征在于，

所述第二过孔导体具有靠近所述放电间隙部的一侧变细的梯形形状。

4.如权利要求1或2所述的ESD保护装置，其特征在于，

所述放电间隙部为空洞。

5.如权利要求1或2所述的ESD保护装置，其特征在于，

所述放电间隙部中配置有放电辅助电极。

6.如权利要求1或2所述的ESD保护装置，其特征在于，

所述放电间隙部包含俯视时以空洞为中心、由放电辅助电极包围空洞的周围的结构。

7.如权利要求5所述的ESD保护装置，其特征在于，

所述放电辅助电极包含半导体陶瓷粒子。

8.如权利要求6所述的ESD保护装置，其特征在于，

所述放电辅助电极包含半导体陶瓷粒子。

9.如权利要求5所述的ESD保护装置，其特征在于，

所述放电辅助电极包含由绝缘性材料包覆的导电性粒子。

10.如权利要求6所述的ESD保护装置，其特征在于，

所述放电辅助电极包含由绝缘性材料包覆的导电性粒子。

11.如权利要求2所述的ESD保护装置，其特征在于，

对于所述第一过孔导体和所述第二过孔导体经由所述放电间隙部彼此相对的结构，其在所述第一绝缘层和所述第二绝缘层合起来的2层绝缘层的厚度中、在厚度方向上排列并收纳。

12.如权利要求11所述的ESD保护装置，其特征在于，

所述放电间隙部中配置有放电辅助电极。