[发明专利]感光性树脂组合物、其浮雕图案膜、浮雕图案膜的制造方法、包含浮雕图案膜的电子部件或光学制品、和包含感光性树脂组合物的粘接剂

说明书

本发明的课题在于得到一种感光性树脂组合物，该感光性树脂组合物不具有现有技术导致的不良情况，能够利用低温工艺容易地形成精度高的聚酰亚胺图案。本发明得到一种感光性树脂组合物，该感光性树脂组合物的特征在于，其含有：(A)至少一部分具有聚酰胺酸或聚酰胺酸酯的重复单元的高分子前体；(B)通过活性光线的照射而产生强碱性叔胺的非离子性光反应型潜在性碱性物质。

技术领域

本发明涉及一种感光性树脂组合物，其含有至少一部分具有聚酰胺酸或聚酰胺酸酯的重复单元的高分子前体、和通过活性光线的照射而产生强碱性叔胺的非离子性光反应型潜在性碱性物质；还涉及使用了该感光性树脂组合物的浮雕图案膜(高分子膜)、浮雕图案膜的制造方法、和具有浮雕图案膜作为表面保护膜层和/或层间绝缘膜的电子部件或光学制品、以及包含感光性树脂组合物的粘接剂。

背景技术

1955年由美国杜邦公司开发的聚酰亚胺基于高绝缘性、耐热性、高机械强度等优异的特性而被广泛应用于各种领域中。不仅限于最初所应用的航空航天领域，在半导体元件的涂布膜、柔性印刷配线板、耐热绝缘性层间材料中的应用也不断发展。而且，近年来，伴随着半导体安装技术的高度化和高密度化，要求配线图案进一步微细化，对于聚酰亚胺也要求具有高度的加工性。

然而，聚酰亚胺的热塑性和在有机溶剂中的溶解性欠缺，具有难以加工的另一面。因此，对聚酰亚胺广泛采用了下述方法：对聚酰亚胺前体赋予感光性，利用活性光线照射而形成所期望的图案后，在高温下使其闭环。

这样，对聚酰亚胺前体赋予感光性而提高了加工性的所谓感光性聚酰亚胺具有可缩短烦杂的工艺的特点，因此从生产率和简化工序的方面出发，与非感光性聚酰亚胺相比，利用性更高。

并且，对于现有的感光性聚酰亚胺，在显影后进行300℃以上的加热工序，从而使聚酰亚胺前体酰亚胺化(例如参见专利文献1、2)。

另外，公开了一种感光性树脂组合物，其能够在低温下使聚酰亚胺前体酰亚胺化而形成聚酰亚胺膜(例如参见专利文献3)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利4830435号公报

专利文献2：日本专利4756350号公报

专利文献3：日本特开2006-189591号公报

发明内容

发明要解决的课题

然而，专利文献1中记载的感光性聚酰亚胺虽然能够在低温下进行酰亚胺化，但是为了形成良好的图案还存在改良的余地。这是因为，曝光前后的碱性物质的骨架结构没有变化。另外，用于酰亚胺化的光产碱剂为离子性，因而在有机溶剂中的溶解性不充分。

此外，专利文献2、3中记载的聚酰亚胺前体的酰亚胺化使用了非离子性的光产碱剂(氨基甲酸酯、酰基肟等)，因而在有机溶剂中的溶解性优异，但是会放出伯胺、仲胺，固化后的高分子膜的拉伸强度存在改良的余地。

本发明的目的是鉴于上述背景而形成的，提供一种感光性树脂组合物，该感光性树脂组合物不具有现有技术导致的不良情况，能够利用低温工艺容易地形成精度高的图案；提供使用了该感光性树脂组合物的浮雕图案膜(高分子膜)、浮雕图案膜的制造方法、和具有浮雕图案膜作为表面保护膜层和/或层间绝缘膜的电子部件或光学制品、以及包含感光性树脂组合物的粘接剂。

用于解决课题的方案

为了达到上述目的，本发明人着眼于使用光产碱剂的感光性聚酰亚胺组合物进行了反复深入的研究，结果发现，利用通过活性光线的照射而产生强碱性叔胺的非离子性光反应型潜在性碱性物质与特定的高分子前体的组合，能够达到本件发明的目的。