[发明专利]流量计及具备该流量计的流量控制装置

权利要求书

1.一种流量计，其具备：配置于流路上的入口侧开闭切换阀、配置于该入口侧开闭切换阀的下游的出口侧开闭切换阀、配置于该出口侧开闭切换阀下游的控制阀，所述各阀彼此由具有内部容积的流路连接，相比于所述控制阀而将压力传感器配置于上游，其特征在于，

具备大流量用测量部和小流量用测量部，

所述大流量用测量部将从所述入口侧开闭切换阀的出口侧到所述控制阀的入口侧的流路内部容积作为衰减容积而进行流量计算，

所述小流量用测量部将从所述出口侧切换阀的出口侧到所述控制阀的入口侧的流路内部容积作为衰减容积而计算流量。

2.根据权利要求1所述的流量计，其特征在于，所述控制阀是流量控制部内部的控制阀。

3.根据权利要求1所述的流量计，其特征在于，配置有多个流路，所述流路具有由开闭切换阀隔开的内部容积。

4.一种流量控制装置，其具备：设置于上游侧的衰减式流量监测部与设置于该衰减式流量监测部的下游侧的流量控制部，其特征在于，

所述衰减式流量监测部具备：

入口侧开闭切换阀；

设置于所述入口侧开闭切换阀的下游侧的衰减容量；

设置于所述该衰减容量的下游侧的气体通路的温度传感器；

设置于所述衰减容量的下游侧的出口侧开闭切换阀；

设置于该出口侧开闭切换阀的下游侧的压力传感器；和

被输入了所述温度传感器及所述压力传感器的检测值的监测流量运算控制部，

所述流量控制装置构成为：通过该监测流量运算控制部，将所述入口侧开闭切换阀的出口侧及所述流量控制部的控制阀之间的气体通路内部容积作为衰减容积而计算大流量的监测流量，并将所述出口侧开闭切换阀的出口侧与所述流量控制部的控制阀之间的气体通路内部容积作为衰减容积而计算小流量的监测流量。

5.根据权利要求4所述的流量控制装置，其特征在于，由信号传送电路连接所述衰减式流量监测部与所述流量控制部，向所述流量控制部传送所述衰减式流量监测部的监测流量，并且在该流量控制部设置有流量设定值调整机构，所述流量设定值调整机构根据来自所述衰减式流量监测部的监测流量调整该流量控制部的设定流量。