[发明专利]用于形成具有改善的等离子体耐受性的陶瓷涂层的方法和由此形成的陶瓷涂层有效
| 申请号： | 201480075571.X | 申请日： | 2014-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN106029948B | 公开（公告）日： | 2020-02-21 |
| 发明（设计）人： | 李文基;金秉基;朴载赫;金大根;李明鲁 | 申请（专利权）人： | IONES株式会社 |
| 主分类号： | C23C24/04 | 分类号： | C23C24/04 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 宋融冰 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 形成 具有 改善 等离子体 耐受 陶瓷 涂层 方法 由此 | ||
【权利要求书】：
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