[发明专利]编码器系统、信号处理方法有效
申请号: | 201510098514.X | 申请日: | 2009-08-26 |
公开(公告)号: | CN104764473B | 公开(公告)日: | 2017-07-07 |
发明(设计)人: | 岸田博幸;森田徹;高桥喜二;大野康;长濑乔;小俣贤治;武内博史 | 申请(专利权)人: | 株式会社尼康 |
主分类号: | G01D5/347 | 分类号: | G01D5/347;G01D5/12 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所11038 | 代理人: | 李今子 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 编码器 系统 信号 处理 方法 | ||
1.一种编码器系统,具备:
1次旋转绝对型的第1编码器,用以输出与能旋转的第1轴的角度位置对应的第1信号,该第1信号是与该第1轴的1次旋转内的角度位置对应的多个信号;
动力传输装置,以既定传输率将该第1轴的动力传输至能旋转的第2轴;
1次旋转绝对型的第2编码器,用以输出与该第2轴的角度位置对应的第2信号,该第2信号是与该第2轴的1次旋转内的角度位置对应的多个信号;以及
信号处理部,至少根据该第1信号与该第2信号,生成与该第1轴的旋转数量相关的数据。
2.如权利要求1所述的编码器系统,其中,该信号处理部,具有根据该第1信号与该第2信号进行比较运算的手段、及根据该比较运算的结果输出异常信号或与该第1信号的修正相关的信息的手段。
3.一种编码器系统,其具有:
第1绝对位置编码器,是1次旋转型的绝对编码器,用以输出与旋转的输入轴的角度位置对应的第1检测信号,该第1检测信号是与该输入轴的1次旋转内的角度位置对应的多个信号;
第2绝对位置编码器,是1次旋转型的绝对编码器,用以输出根据该输入轴的旋转以既定的传输率旋转的输出轴的角度位置所对应的第2检测信号,该第2检测信号是与该输出轴的1次旋转内的角度位置对应的多个信号;
第1位置数据检测电路,根据从该第1绝对位置编码器输入的第1检测信号,通过预先决定的第1信号处理,检测出表示该输入轴的角度位置的第1位置数据;
第2位置数据检测电路,根据从该第2绝对位置编码器输入的第2检测信号,通过预先决定的第2信号处理,检测出表示该输出轴的角度位置的第2位置数据;
位置数据合成电路,合成该第1位置数据与该第2位置数据,生成表示该输入轴的多次旋转量与1次旋转内的角度位置的合成位置数据;
误差修正值储存部,预先储存有在将用以使该输出轴旋转的动力传输装置整体组装于自身编码器系统的状态下预先驱动而求出的值,即用以修正该合成位置数据的误差修正值;以及
误差修正电路,根据从该误差修正值储存部读出的该误差修正值修正该位置数据合成电路所生成的该合成位置数据。
4.如权利要求3所述的编码器系统,其中,该误差修正值包含误差角度,该误差角度,是将基于该第2绝对位置编码器所检测出的该第2位置数据的检测角度,与以基于该第1绝对位置编码器所检测出的该第1位置数据的检测角度作为基准的角度比较后所求出。
5.如权利要求3或4所述的编码器系统,其中,该误差修正值包含误差角度,该误差角度,是代替该第1绝对位置编码器,使用高精度的绝对位置基准检测器检测基于该第2绝对位置编码器所检测出的该第2位置数据的检测角度,并与以基于该绝对位置基准检测器所检测出的该第1位置数据的检测角度作为基准的角度比较后所求出。
6.如权利要求3或4所述的编码器系统,其中,在该误差修正值储存部中,将组装于该自身编码器系统的该动力传输装置整体预先驱动而检测出的该误差修正值,与该第2位置数据及该第1位置数据赋予关连关系后预先储存;
该误差修正电路,根据从该误差修正值储存部读出的该误差修正值修正该位置数据合成电路所生成的合成位置数据。
7.如权利要求3或4所述的编码器系统,其中,该误差修正电路,从该误差修正值储存部读出将根据该第2位置数据推定为该第1位置数据的推定值与该第2位置数据赋予关连关系的该误差修正值,并根据该读出的该误差修正值修正该位置数据合成电路所生成的合成位置数据。
8.如权利要求7所述的编码器系统,其具有检测该第1位置数据的异常的故障检测电路;
该误差修正电路,在该故障检测电路未检测该第1位置数据的异常时,从该误差修正值储存部读出将该第1位置数据与该第2位置数据赋予关连关系的该误差修正值,并根据该读出的该误差修正值修正该位置数据合成电路所生成的合成位置数据;
在该故障检测电路检测出该第1位置数据的异常时,从该误差修正值储存部读出将根据该第2位置数据推定为该第1位置数据的推定值与该第2位置数据赋予关连关系的该误差修正值,并根据该读出的该误差修正值修正该位置数据合成电路所生成的合成位置数据。
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