[发明专利]一种高纯氨水的连续生产方法

权利要求书

1.一种高纯氨水的连续生产方法，以工业级液氨为原料，其特征在于，所述生产方法采用的设备包括液氨原料罐、降压蒸发器、油水分离器、气体过滤器、液体过滤器和成品储罐；

所述生产方法包括依次且连续进行的如下步骤：

（1）降压蒸发：将工业级液氨以150~250 kg/h的流速通过降压蒸发器降压蒸发，得到氨气；

（2）油水分离：将经步骤（1）处理后的氨气通过油水分离器除去氨气中油分和水分；

（3）过滤：将经步骤（2）处理后的氨气通过气体过滤器过滤得到高纯氨气，所述高纯氨气中大于等于0.5μm颗粒浓度控制在25个/ml以下，单项金属离子含量小于50 ppt；

（4）吸收混合：用电阻率大于等于18 MΩ·cm的超纯水将经步骤（3）处理后的氨气循环吸收，获得半成品氨水；

（5）循环过滤：将经步骤（4）处理后的半成品氨水通过液体过滤器循环过滤，氨水中大于等于0.5μm颗粒浓度降低至25个/ml以下时，结束循环过滤获得所述高纯氨水，所述高纯氨水中单项金属离子含量小于50 ppt，单项阴离子杂质含量小于40 ppb；

其中，所述液氨原料罐内的温度为25℃~30℃，压力为0.9~1.1MPa，所述降压蒸发器内的压力小于所述液压原料罐内的压力，且所述降压蒸发器内的压力≥0.5MPa；

所述气体过滤器为膜式过滤器，所述膜的材质为聚四氟乙烯，所述膜的孔径为0.002μm。

2.根据权利要求1所述的高纯氨水的连续生产方法，其特征在于：所述油水分离器具有多级气体分离膜，所述气体分离膜为由聚酰亚胺、聚二甲基硅氧烷、聚碳酸酯、醋酸纤维素中的一种或多种构成的致密高分子膜。

3.根据权利要求1所述的高纯氨水的连续生产方法，其特征在于：所述液体过滤器的滤芯的孔径为0.2μm。

4.根据权利要求1所述的高纯氨水的连续生产方法，其特征在于：步骤（4）中，所述半成品氨水的浓度控制在28.0~30.0wt%。

5.根据权利要求1所述的高纯氨水的连续生产方法，其特征在于：步骤（4）中，所述吸收混合在静态气液混合器中进行，所述静态气液混合器采用不锈钢材质，其具有内衬，所述内衬采用PTFE或PFA材质。

6.根据权利要求1所述的高纯氨水的连续生产方法，其特征在于：所述生产方法还包括经步骤（4）处理后的半成品氨水先经过冷却设备进行降温、降压处理，然后进行步骤（5）的处理，经所述冷却设备处理后的氨水温度≤25℃，压力≤0.1 MPa。

7.根据权利要求6所述的高纯氨水的连续生产方法，其特征在于：所述冷却设备包括冷却水循环系统和冷却器，所述冷却器具有内衬，所述内衬采用PTFE或PFA材质。