[发明专利]一种TiO2薄膜光助气敏元件及其制备方法和应用有效
| 申请号： | 201510493459.4 | 申请日： | 2015-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN105136868B | 公开（公告）日： | 2018-05-04 |
| 发明（设计）人： | 戴文新;彭小英;陈旬;员汝胜;付贤智 | 申请（专利权）人： | 福州大学 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12 |
| 代理公司： | 福州元创专利商标代理有限公司35100 | 代理人： | 蔡学俊 |
| 地址： | 350002 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 tio sub 薄膜 光助气敏 元件 及其 制备 方法 应用 | ||
【权利要求书】：
1.一种TiO2薄膜光助气敏元件的制备方法，其特征在于：先用去离子水、乙醇，超声洗涤金叉指电极片，然后浸泡在piranha solution 3 小时，取出将电极片表面清洗干净，以增强表面的亲水性，并用去离子水清洗，烘干；将烘干的电极片浸渍在前驱体溶液中，2min 后取出放在平滑的桌面，电极片表面快速水解得到TiO2膜；最后，将电极片置于马弗炉中升温，升温速率为1-3℃/min，至300-600℃下煅烧0.5-3 小时，制得二氧化钛薄膜气敏元件；其中 piranha solution 具体是30% 双氧水和98% 硫酸按体积比1 ：1 ~ 1 ：3混合；其中前驱体溶液为钛酸异丙酯和乙醇按体积比1：5~ 1 ：20混合。
2.一种如权利要求1 所述的方法制得的TiO2薄膜光助气敏元件。
3.一种如权利要求1 所述的方法制得的TiO2薄膜光助气敏元件的应用，其特征在于：
制得的TiO2薄膜光助气敏元件能在室温和紫外光作用下对特定气体产生气敏响应。
4.根据权利要求3所述的应用，其特征在于：所述的特定气体为H2或丙酮气体。
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