[发明专利]光成形物的生产方法及液体排出头的生产方法有效
申请号: | 201510623132.4 | 申请日: | 2015-09-25 |
公开(公告)号: | CN105467757B | 公开(公告)日: | 2019-11-22 |
发明(设计)人: | 堀内勇 | 申请(专利权)人: | 佳能株式会社 |
主分类号: | G03F7/004 | 分类号: | G03F7/004;G03F7/16 |
代理公司: | 11398 北京魏启学律师事务所 | 代理人: | 魏启学<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
地址: | 日本东京都大*** | 国省代码: | 日本;JP |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 成形 生产 方法 液体 出头 | ||
本发明涉及光成形物的生产方法及液体排出头的生产方法。一种光成形物的生产方法,其包括将感光性树脂组合物以干膜形式粘帖至形成有基板表面开口的孔的基板上以封闭所述孔,并进行图案化,从而形成光成形物,其中所述感光性树脂组合物含有包括三官能以上的环氧树脂和二官能环氧树脂的树脂,所述二官能环氧树脂具有5,500至60,000的重均分子量(Mw),所述树脂具有4,500至11,000的范围内的重均分子量(Mw),所述三官能以上的环氧树脂和所述二官能环氧树脂之间的质量混合比满足(b)/(a)≤1.5,其中(a)为三官能以上的环氧树脂的质量,(b)为二官能环氧树脂的质量。
技术领域
本发明涉及光成形物(optically shaped product)的生产方法,和使用该生产方法的液体排出头的生产方法。
背景技术
作为光成形物的实例,可提及将液体排出的液体排出头。液体排出头例如作为喷墨记录头用于排出喷墨记录设备中的墨。应用于喷墨记录的液体排出头一般包括多个微细排出口、分别与排出口联通的流路、和各自设置在流路的一部分用于产生排出流路内的液体用能量的排出能量产生单元。作为此类液体排出头的生产方法,已知在预先设置有排出能量产生单元的基板上层压形成流路的低感光度感光性树脂层和通过图案化将成为排出口的高感光度感光性树脂层的方法。使低感光度感光性树脂层和高感光度感光性树脂层分别固化,接着除去其未固化部,从而在基板上形成流路和排出口。
在日本专利申请特开2009-1003号中公开的喷墨记录头的生产方法中,首先通过旋涂法在基板上形成液态的低感光度感光性树脂的膜,并将膜曝光成流路的形式。在接着将高感光度感光性树脂的干膜层压在所得低感光度感光性树脂层并曝光成为排出口的形式后,将低感光度感光性树脂层和高感光度感光性树脂层的未固化部一起除去,从而形成流路和排出口。其后,从没有层压感光性树脂层的表面蚀刻基板,从而形成用于将液体穿过基板供给至流路的供给路径。
发明内容
根据本发明,提供一种光成形物的生产方法,所述方法包括将干膜形式的感光性树脂组合物粘帖至形成有表面开口的孔的基板以封闭所述孔,并进行图案化,从而形成光成形物,其中所述感光性树脂组合物含有包括三官能以上的环氧树脂和二官能环氧树脂的树脂,所述二官能环氧树脂具有5,500至60,000的重均分子量(Mw),所述树脂具有4,500至11,000的范围内的重均分子量(Mw),所述三官能以上的环氧树脂和所述二官能环氧树脂之间的质量混合比满足(b)/(a)≤1.5,其中(a)为三官能以上的环氧树脂的质量,(b)为二官能环氧树脂的质量。
根据本发明,还提供一种液体排出头的生产方法,所述方法包括将干膜形式的感光性树脂组合物粘帖至形成有排出能量产生单元和液体的供给路径的基板上,其中所述感光性树脂组合物含有包括三官能以上的环氧树脂和二官能环氧树脂的树脂,所述二官能环氧树脂具有5,500至60,000的重均分子量(Mw),所述树脂具有4,500至11,000的范围内的重均分子量(Mw),所述三官能以上的环氧树脂和所述二官能环氧树脂之间的质量混合比满足(b)/(a)≤1.5,其中(a)为三官能以上的环氧树脂的质量,(b)为二官能环氧树脂的质量。
参考附图从以下示例性实施方案的描述中,本发明的进一步的特征将变得显而易见。
附图说明
图1A为说明液体排出头的构造实例的示意性立体图,图1B为沿图1A的1B-1B线截取的示意性截面图。
图2A、2B、2C、2D和2E为按顺序地说明图1A和1B中说明的液体排出头的生产步骤的实例的示意性截面图。
图3A、3B和3C为说明排出口形状的所有设计图。
图4A、4B、4C、4D和4E为按顺序地说明液体排出头的生产步骤的另一实例的示意性截面图。
图5A、5B、5C、5D和5E为按顺序地说明实施例中液体排出头的生产步骤的示意性截面图。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于佳能株式会社,未经佳能株式会社许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201510623132.4/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:全光纤激光干涉光刻设备和方法
- 下一篇:一种像素结构、显示面板及显示装置