[发明专利]光配向光罩

权利要求书

1.一种光配向光罩，其特征在于，包括邻接交替设置的第一区和第二区，所述第一区包括相互平行的第一面和第二面，当照射光从第一照射方向进入所述光配向光罩时，所述照射光由所述第一面射入所述第一区且自所述第二面射出第一配向光，所述第二区射出第二配向光，所述第一配向光的方向与所述第一照射方向一致，所述第二配向光的方向与所述第一照射方向相对于所述第二面对称，所述第二区包括重复设置的多个棱镜单元，所述棱镜单元为三棱柱，所述三棱柱的两个底面均邻接相邻的所述第一区设置，所述三棱柱的侧面包括首尾相连的入射面、反射面和折射面，所述入射面垂直于所述第一照射方向设置，所述反射面上设置有反射膜层，所述照射光由所述入射面射入所述棱镜单元，然后依次在所述折射面上被全反射、在所述反射面上被反射，最后由所述折射面射出所述第二配向光。

2.如权利要求1所述的光配向光罩，其特征在于，所述第一照射方向与所述第二面之间形成α夹角，所述折射面与所述第二面之间形成θ夹角，所述反射面与所述第二面之间形成γ+θ夹角、且与所述折射面之间形成γ夹角，所述棱镜单元采用折射率为n的材质，所述α、所述θ、所述γ、所述n满足以下关系式：

3.如权利要求2所述的光配向光罩，其特征在于，所述α、所述θ、所述γ满足以下关系式：γ+θ＝α。

4.如权利要求2所述的光配向光罩，其特征在于，所述θ的大小在0°至2°之间。

5.如权利要求2所述的光配向光罩，其特征在于，所述第一区在垂直于所述第二面的方向上的厚度为a，所述第二区在垂直于所述第二面的方向上的厚度为b，所述b小于等于所述a。

6.如权利要求2所述的光配向光罩，其特征在于，当所述α、所述θ、所述γ满足以下关系式：γ+θ≤α时，相邻的两个所述棱镜单元之间相接触。

7.如权利要求2所述的光配向光罩，其特征在于，当所述α、所述θ、所述γ满足以下关系式：γ+θ>α时，相邻的两个所述棱镜单元之间间隔距离S设置，且所述距离S满足以下关系式：

8.如权利要求1所述的光配向光罩，其特征在于，所述棱镜单元的所述反射膜层为金属镀膜层。

9.如权利要求4所述的光配向光罩，其特征在于，所述第一区的所述第一面背离所述第二面的一侧覆盖有透明膜。