[实用新型]三级高真空抽气系统

权利要求书

1.三级高真空抽气系统，其特征在于，包括三级罗茨增压泵(4)、二级罗茨增压泵(8)、真空泵(11)、高真空抽气口(3)、第一波纹缓冲减震器(5)、第二波纹缓冲减震器(9)、真空连接管(6)、三级罗茨泵接触器(19)、高真空抽气管(21)、真空泵停止按钮(22)、真空泵启动按钮(23)、真空泵接触器(24)、供电电源端子(25)、二级罗茨泵接触器(26)；其中，

所述三级罗茨增压泵(4)包括三级罗茨泵进气口(20)、三级罗茨增压泵出气口(17)和三级罗茨增压泵电机(18)；

所述二级罗茨增压泵(8)包括二级罗茨泵进气口(7)、二级罗茨增压泵出气口(15)和二级罗茨增压泵电机(14)；

所述真空泵(11)包括真空泵进气口(10)、真空泵电机(12)和真空泵排气口(13)；

所述高真空抽气口(3)通过高真空抽气管(21)与三级罗茨泵进气口(20)相连；

所述高真空抽气管上设有高真空压力控制器(2)和真空表(1)；

所述三级罗茨增压泵出气口(17)通过第一波纹缓冲减震器(5)、真空连接管(6)与二级罗茨增压泵进气口(7)相连；

所述二级罗茨增压泵出气口(15)通过第二波纹缓冲减震器(9)与真空泵进气口(10)相连；

所述真空连接管(6)上设有初真空压力控制器(16)；

所述供电电源端子(25)通过电源线与真空泵接触器(24)、二级罗茨增压泵接触器(26)、三级罗茨增压泵接触器(19)、真空泵启动按钮(23)、真空泵停止按钮(22)、高真空压力控制器(2)和初真空压力控制器(16)相连；

所述真空泵启动按钮(23)和真空泵停止按钮(22)通过控制线与真空泵接触器(24)相连；

所述真空泵接触器(24)通过线缆与真空泵电机(12)相连；

所述初真空压力控制器(16)通过控制线与二级罗茨增压泵接触器(26)相连；

所述二级罗茨增压泵接触器(26)通过线缆与二级罗茨增压电机(14)相连；

所述高真空压力控制器(2)通过控制线与三级罗茨增压泵接触器(19)相连；

所述三级罗茨增压泵接触器(19)通过线缆与三级罗茨增压电机(18)相连。

2.根据权利要求1所述的三级高真空抽气系统，其特征在于，

所述高真空抽气管(21)与三级罗茨增压泵进气口(20)的连接处设有密封垫片；

所述三级罗茨增压泵出气口(17)与第一波纹缓冲减震器(5)的连接处设有密封垫片；

所述第一波纹缓冲减震器(5)与真空连接管(6)的连接处设有密封垫片；

所述真空连接管(6)与二级罗茨增压泵进气口(7)的连接处设有密封垫片；

所述二级罗茨增压泵出气口(15)与第二波纹缓冲减震器(9)的连接处设有密封垫片；

所述第二波纹缓冲减震器(9)与真空泵进气口(10)连接处设有密封垫片。

3.根据权利要求1所述的三级高真空抽气系统，其特征在于，所述的高真空抽气口(3)与外部膜式真空油水分离装置相连，真空泵排气口(13)与外部废气收集器相连，供电电源端子(25)与外部供电线缆相连。