[实用新型]一种气相沉积膜设备用抽气陶瓷环有效
| 申请号： | 201520328483.8 | 申请日： | 2015-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN204752844U | 公开（公告）日： | 2015-11-11 |
| 发明（设计）人： | 柴智;刘亿军;王燚 | 申请（专利权）人： | 沈阳拓荆科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C16/44 |
| 代理公司： | 沈阳维特专利商标事务所(普通合伙) 21229 | 代理人： | 李绪岩 |
| 地址： | 110179 辽宁省*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 沉积 备用 陶瓷 | ||
【权利要求书】：
1.一种气相沉积膜设备用抽气陶瓷环，包括环形的陶瓷环，其特征在于：在陶瓷环上均布抽气小孔，抽气小孔的内壁为圆角。
2.如权利要求1所述的一种气相沉积膜设备用抽气陶瓷环，其特征在于：所述的抽气小孔为12至48个圆形的抽气小孔，小孔直径范围由1毫米至12毫米。
3.如权利要求1所述的一种气相沉积膜设备用抽气陶瓷环，其特征在于：所述的抽气小孔设置在陶瓷环的中间或上端或下端。
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