[实用新型]一种脉冲离子束截面图像的测量装置

权利要求书

1.一种脉冲离子束截面图像的测量装置，其特征在于，所述的装置包括离子源（1）、石英玻璃管(2)、成像板（3）、铝衬板（4）、调距螺杆（5）、调距螺母（6）、不锈钢法兰（7）、加速电源（8）、真空机组（9）、成像分析仪（10）、离子源脉冲电源（11）、隔离变压器（12）；其连接关系是，所述的离子源（1）、成像板（3）均设置在石英玻璃管（2）内，石英玻璃管（2）通过管道与真空机组（9）连接；铝衬板（4）依次通过调距螺母（5）、调距螺杆（6）固定连接在不锈钢法兰（7）上；成像板（3）固定在铝衬板（4）上；加速电源（8）的正极与离子源（1）的引出端连接，加速电源（8）负极与不锈钢法兰（7）连接；离子源脉冲电源（11）的公共端与离子源（1）引出端连接，离子源脉冲电源（10）正极与离子源（1）阳极连接，离子源（1）阳极与隔离变压器（12）的高压端连接；隔离变压器（12）的低压端与地连接。

2.根据权利要求1所述一种脉冲离子束截面图像的测量装置，其特征在于，所述的铝衬板（4）和成像板（3）为正方形或者圆形，成像板（3）与离子束流运行方向垂直。

3.根据权利要求1所述一种脉冲离子束截面图像的测量装置，其特征在于，成像板（3）与离子源（1）引出口的间距可调。