[实用新型]一种用于砂轮表面形貌的检测系统有效
| 申请号： | 201520613878.2 | 申请日： | 2015-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN204944455U | 公开（公告）日： | 2016-01-06 |
| 发明（设计）人： | 余卿;崔长彩;易定容;章明;孔令华;叶瑞芳;范伟;王寅;李煌;张勇贞 | 申请（专利权）人： | 华侨大学 |
| 主分类号： | G01B11/25 | 分类号： | G01B11/25 |
| 代理公司： | 泉州市文华专利代理有限公司 35205 | 代理人： | 陈智海 |
| 地址： | 362000 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 砂轮 表面 形貌 检测 系统 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于砂轮表面形貌的检测系统，其特征在于：沿光源发出光束的光路上依次设置准直透镜和数字微镜器件，且经准直透镜准直的光束与数字微镜器件的表面呈66°入射，此光束在垂直于数字微镜器件的表面的方向反射；经数字微镜器件反射的光束的光路上依次设置分光镜和色散透镜；待测砂轮对应于色散透镜的出射侧设置，并在垂直于光轴的方向的一固定轴上做一维横向移动，以及绕着此固定轴做旋转运动。
2.根据权利要求1所述的一种用于砂轮表面形貌的检测系统，其特征在于：所述数字微镜器件是一个由边长十微米左右的微反射镜构成的阵列；各所述微反射镜间的间隙为一微米左右。
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