[发明专利]用于激发并维持等离子体的基于波导的设备有效
| 申请号： | 201580012078.8 | 申请日： | 2015-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN106063384B | 公开（公告）日： | 2020-04-14 |
| 发明（设计）人： | 赛义德·扎伊迪;皮特·T·威廉姆斯;梅尔鲁斯·瓦希德保尔 | 申请（专利权）人： | 安捷伦科技有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/26 | 分类号： | H05H1/26;H05H1/30;H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人： | 柳春雷 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 激发 维持 等离子体 基于 波导 设备 | ||
【说明书】：
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