[发明专利]用于处理熔体的设备及方法与控制熔体内的热流的系统有效
| 申请号： | 201580024930.3 | 申请日： | 2015-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN106458687B | 公开（公告）日： | 2020-03-13 |
| 发明（设计）人： | 菲德梨克·M·卡尔森;彼德·L·凯勒曼;大卫·莫雷尔;布莱恩·梅克英特许;南帝斯·德塞 | 申请（专利权）人： | 瓦里安半导体设备公司 |
| 主分类号： | C03B27/012 | 分类号： | C03B27/012;C03B23/00 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 马爽;臧建明 |
| 地址： | 美国麻萨诸塞*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 处理 设备 方法 控制 体内 热流 系统 | ||
【说明书】：
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