[发明专利]脆性衬底的分断方法

权利要求书

1.一种脆性衬底的分断方法，其包含：

准备脆性衬底的步骤，所述脆性衬底具有表面且具有垂直于所述表面的厚度方向；

按压步骤，其将刀尖按压在所述脆性衬底的所述表面；及

形成沟槽线的步骤，其使通过所述按压步骤被按压的所述刀尖在所述脆性衬底的所述表面上滑动，借此在所述脆性衬底的所述表面上产生塑性变形，而形成具有沟形状的沟槽线，所述形成沟槽线的步骤是以获得下述状态的方式而进行，即，所述脆性衬底在所述沟槽线正下方处在与所述沟槽线交叉方向上连续相连的状态即无裂痕状态，所述沟槽线包含曲线部；且

进一步包含形成裂痕线的步骤，其沿所述沟槽线使所述脆性衬底在所述厚度方向的裂痕伸展，借此形成裂痕线；而且通过所述裂痕线，所述脆性衬底在所述沟槽线正下方处在与所述沟槽线交叉方向上的连续相连被分断。

2.根据权利要求1所述的脆性衬底的分断方法，其中所述形成沟槽线的步骤包含：

刀尖滑动步骤，其是使所述刀尖在所述脆性衬底的所述表面的一处上滑动者；及

刀尖返回步骤，其是通过使所述刀尖进一步持续滑动，使所述刀尖返回到所述一处者；且

所述形成裂痕线的步骤，其是通过所述刀尖返回到所述一处而开始。

3.根据权利要求1所述的脆性衬底的分断方法，其中进一步包含刀尖离开的步骤，其是在所述形成沟槽线的步骤之后且在所述形成裂痕线的步骤之前，使所述刀尖从所述脆性衬底的所述表面离开者，且

所述形成裂痕线的步骤是通过在所述沟槽线上对所述脆性衬底施加应力而开始。

4.根据权利要求1到3中任一权利要求的脆性衬底的分断方法，其中所述形成裂痕线的步骤中沿所述沟槽线的裂痕的伸展方向与所述形成沟槽线的步骤中所述刀尖的滑动方向相反。

5.根据权利要求1到3中任一权利要求的脆性衬底的分断方法，其中所述形成裂痕线的步骤中沿所述沟槽线的裂痕的伸展方向与所述形成沟槽线的步骤中所述刀尖的滑动方向相同。