[发明专利]基板保持装置、基板运送装置、处理布置和用于处理基板的方法

权利要求书

1.一种基板运送装置，包括基板保持装置(100)以及用于运送基板保持装置(100)的运送系统，其中，所述基板保持装置包括：

·承载板(102)，其包括空腔(112)，其中所述空腔(112)从所述承载板(102)的上侧(102a)延伸通过所述承载板(102)到达所述承载板(102)的下侧(102b)；以及

·保持框(132a)，其具有框开口(132)和用于将基板(120)保持在所述空腔(112)中的支撑表面(111a)，所述支撑表面(111a)围绕所述框开口(132)；

·其中所述保持框(132a)在被插入所述空腔(112)中时部分地搁置在所述承载板(102)上；以及

·两个空间上分开的保持区域(402h)，所述承载板(102)能够在两个保持区域(402h)处在承载板的两侧被支撑以用于运送所述承载板(102)，其中所述空腔(112)布置在所述两个保持区域(402h)之间；

其中所述运送系统具有两个保持元件(712)，每个保持元件包括运送辊，使得所述基板保持装置(100)的承载板(102)由运送辊仅在所述两个保持区域(402h)中被保持，

其中所述空腔(112)为立方体形状并且具有四个角落区域，并且其中所述保持框(132a)仅在所述空腔(112)的所述角落区域中搁置在所述承载板(102)上。

2.根据权利要求1所述的基板运送装置，其中基板保持装置(100)还包括：

另一保持框(132b)，其部分地搁置在所述保持框(132a)上。

3.根据权利要求2所述的基板运送装置，其中保持框和另一保持框(132a，132b)被调整适于使得在当被布置在所述空腔(112)中时在保持框和另一保持框(132a，132b)之间提供用于容纳所述基板(120)的外围部分的容纳空间(130)。

4.根据权利要求2或3所述的基板运送装置，

其中所述另一保持框(132b)具有用于在所述基板上方保持另一基板(120b)的另一支撑表面。

5.根据权利要求2或3所述的基板运送装置，

其中保持框和另一保持框(132a、132b)被调整适于使得它们在当所述另一保持框(132b)被放置在所述保持框(132a)上时以形状配合的方式相互咬合。

6.根据权利要求5所述的基板运送装置，其中保持框和另一保持框(132a、132b)包括相互成对匹配的多个对中结构(336)，使得当所述另一保持框(132b)被放置在所述保持框(132a)上时，保持框和另一保持框(132a、132b)彼此对中。

7.根据权利要求2或3所述的基板运送装置，

其中两个保持框(132a、132b)的相应内圆周壁具有倒角。

8.根据权利要求4所述的基板运送装置，其中所述基板保持装置(100)还包括：

又一保持框(132c)，其中所述又一保持框(132c)在当被插入所述空腔(112)中时以以下方式被布置在所述另一保持框(132b)上方，使得在所述又一保持框(132c)与所述另一保持框(132b)之间提供用于容纳所述另一基板(120b)的外围部分的容纳空间(130)。

9.根据权利要求2或3所述的基板运送装置，其中所述基板保持装置(100)还包括：

通风口(302o)，用于对所述保持框(132a)与所述另一保持框(132b)之间的间隙进行排空。

10.根据权利要求2或3所述的基板运送装置，

其中保持框和另一保持框(132a、132b)以与所述空腔(112)匹配的方式包括具有四个外角部分的立方体形状的外部轮廓，并且其中保持框和另一保持框(132a、132b)在所述四个外角部分中各自包括相互成对匹配的对中结构。