[发明专利]一种电光独立调制的瞬态光电压测试系统

权利要求书

1.一种电光独立调制的瞬态光电压测试系统，用于探测半导体器件在不同 光照和偏压状态的光生电压的瞬态过程，以表征所述半导体器件的电荷复合性 质，包括：

脉冲光源，用于向所述半导体器件施加脉冲光激发，以在所述半导体器件 内形成光生电荷；其中，所述光生电荷在所述半导体器件两侧积累，以形成光 生电压；

稳定光源，用于照射所述半导体器件以提供光调制，使所述半导体器件内 部建立稳定存在的浓度可调的电荷分布；

电压探测器，与所述半导体器件构成电压探测回路，用于实时探测所述半 导体器件两端的光生电压；和

与所述电压探测回路并联的电调制回路，用于向所述半导体器件提供可控 的直流电压调制信号。

2.根据权利要求1所述的瞬态光电压测试系统，其中，所述电压探测器具 体为数据采集卡或并联的数字示波器与采样电阻。

3.根据权利要求1或2所述的瞬态光电压测试系统，其中，所述稳定光源 具体为波长可选的LED灯或强度连续可调的氙灯。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的瞬态光电压测试系统，其中，所述脉 冲光源具体为脉冲激光器或高速控制的LED灯。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的瞬态光电压测试系统，其中，所述脉 冲光源具有很窄的脉宽和较长的脉冲周期且所述脉冲光源的波长可调。

6.根据权利要求1-5中任一项所述的瞬态光电压测试系统，其中，所述电 调制回路包括串联的电压源与低通滤波器。

7.根据权利要求6所述的瞬态光电压测试系统，其中，所述低通滤波器具 体为电感或有源低通滤波器，所述电压源具体为信号发生器或数字源表。

8.根据权利要求6或7所述的瞬态光电压测试系统，其中，所述电压源具 有较低的直流输入阻抗且可以提供可控的覆盖所述半导体器件工作范围的直 流电压信号，所述低通滤波器具有较低的直流输入阻抗和较大的高频输入阻抗。

9.根据权利要求1-8中任一项所述的瞬态光电压测试系统，其中，还包括 设置在所述脉冲光源与所述半导体器件之间的滤光片，所述滤光片用于调节所 述半导体器件接收到的所述脉冲光的强度。

10.根据权利要求1-9中任一项所述的瞬态光电压测试系统，其中，还包 括用于容纳所述半导体器件的样品室，所述样品室用于为所述半导体器件提供 预定的温度环境、气氛环境和/或电磁屏蔽。