[发明专利]一种四自由度微动柔顺系统有效
申请号: | 201610178495.6 | 申请日: | 2016-03-25 |
公开(公告)号: | CN105643604B | 公开(公告)日: | 2018-06-12 |
发明(设计)人: | 葛世滨;薛超;段学超;米建伟;杜敬利;保宏;韩旺 | 申请(专利权)人: | 西安电子科技大学;西安中电科西电科大雷达技术协同创新研究院有限公司 |
主分类号: | B25J9/00 | 分类号: | B25J9/00 |
代理公司: | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人: | 汤东凤 |
地址: | 710071 陕西省*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 柔顺 滑移 转动自由度 驱动元件 四自由度 平动 微动 转动 超精密加工 平动自由度 微机电系统 单独驱动 航空航天 中间平台 主动支腿 动平台 虎克铰 并联 大轴 解耦 支腿 应用 制造 | ||
1.一种四自由度微动柔顺系统,其特征在于,所述四自由度微动柔顺系统包括柔顺平台和具有Rx和Ry两自由度的柔顺模块,其连接方式为柔顺平台在下,Rx和Ry两自由度的柔顺模块在上,两者为串联连接;
所述Rx和Ry两自由度的柔顺模块由柔顺滑移铰、柔顺虎克铰及驱动元件组成;
所述具有Rx和Ry两自由度的柔顺模块是由与基座相固连的五个分支及所支撑的刚体动平台构成的,每个分支的上端与刚体动平台相固连;基座与柔顺平台相固连,由柔顺平台驱动整个微转动平台在X与Y向作平移运动;各分支的上段都是柔顺虎克铰并且柔顺虎克铰的中心在初始位置时均处于同一水平面上;周围四个分支下段是柔顺滑移铰。
2.如权利要求1所述的四自由度微动柔顺系统,其特征在于,所述具有Rx和Ry两自由度的柔顺模块搭载在柔顺平台的中间平台上,Rx和Ry两自由度的柔顺模块的底座与柔顺平台中间的动平台相固连,在柔顺平台的基座空间内装入音圈电机作为驱动器,Rx和Ry两自由度的柔顺模块的底座开有槽,柔顺平台上安装有用于检测中间动平台实际平动位移量的传感器装置。
3.如权利要求1所述的四自由度微动柔顺系统,其特征在于,所述驱动元件为压电陶瓷或音圈电机。
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