[发明专利]玻璃晶圆激光标识的制作方法在审
| 申请号： | 201610253578.7 | 申请日： | 2016-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN105710538A | 公开（公告）日： | 2016-06-29 |
| 发明（设计）人： | 任霄峰;董磊;范兰兰;徐永青 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第十三研究所 |
| 主分类号： | B23K26/362 | 分类号： | B23K26/362;B23K26/60 |
| 代理公司： | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人： | 王占华 |
| 地址： | 050051 *** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 玻璃 激光 标识 制作方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种玻璃晶圆激光标识的制作方法，其特征在于所述方法包括如下步骤：
1）将玻璃晶圆（1）放置于硅材料（2）的表面并紧密贴合在一起，使玻璃晶圆（1）上待打标位置位于硅材料（2）之上；
2）激光束按照设定的参数透过玻璃晶圆（1）照射在玻璃晶圆（1）与硅材料（2）的界面处，界面处的硅材料在激光束的作用下发生烧蚀及升华，升华后的硅材料在与硅材料贴合的玻璃晶圆（1）上形成激光标识（3），形成的激光标识（3）与参数设定的标识成镜像关系。
2.如权利要求1所述的玻璃晶圆激光标识的制作方法，其特征在于：所述玻璃晶圆（1）的厚度为0.15mm-10mm。
3.如权利要求1所述的玻璃晶圆激光标识的制作方法，其特征在于：所述硅材料（2）与玻璃晶圆（1）的接触面为剖光面或非剖光面。
4.如权利要求1所述的玻璃晶圆激光标识的制作方法，其特征在于：所述激光束为光纤激光束、固体激光束、气体激光束或准分子激光束。
5.如权利要求1所述的玻璃晶圆激光标识的制作方法，其特征在于：所述硅材料（2）水平设置。
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