[发明专利]处理装置有效
| 申请号： | 201610269430.2 | 申请日： | 2011-02-18 |
| 公开（公告）号： | CN105957791B | 公开（公告）日： | 2018-07-10 |
| 发明（设计）人： | 笠原稔大 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 李洋;舒艳君 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 处理容器 隔离件 侧壁 处理装置 散热单元 空气隔热部 隔开间隔 散热构造 外壁面 插装 外壁 覆盖 配置 | ||
【权利要求书】：
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