[发明专利]加热器单元和热处理装置有效
| 申请号： | 201610423627.7 | 申请日： | 2013-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN106102189B | 公开（公告）日： | 2019-09-03 |
| 发明（设计）人： | 中西识;藤田翁堂;福田洋人;巽智彦 | 申请（专利权）人： | 光洋热系统株式会社 |
| 主分类号： | H05B3/06 | 分类号： | H05B3/06;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人： | 周善来;李雪春 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 加热器 单元 热处理 装置 | ||
【权利要求书】：
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