[发明专利]一种太阳能电池硼扩散装置

权利要求书

1.一种太阳能电池硼扩散装置，其特征在于，包括扩散炉(2)和进气管路(5)，进气管路(5)与扩散炉(2)连通，硅片(1)置于扩散炉(2)内，进气管路(5)上连通有氮气通入的第一支管(4)、氧气通入的第二支管(3)、携带硼源的氮气通入的第三支管(12)、携带二氯乙烯的氮气通入的第四支管(6)，第三支管(12)与BBr3储瓶(11)连通，第四支管(6)与二氯乙烯储瓶(9)连通；二氯乙烯储瓶(9)上还连通有氮气通入的第五支管(8)，BBr3储瓶(11)还连通有氮气通入的第六支管(10)；所述第三支管(12)靠近所述扩散炉(2)连通，所述第四支管(6)远离所述扩散炉(2)连通，所述第四支管(6)到所述扩散炉(2)的距离大于所述第三支管(12)到所述扩散炉(2)的距离。

2.根据权利要求1所述的一种太阳能电池硼扩散装置，其特征在于，第五支管(8)的管口伸入到二氯乙烯储瓶(9)的底部，第四支管(6)的管口位于二氯乙烯储瓶(9)的上部；第六支管(10)的管口伸入到BBr3储瓶(11)的底部，第三支管(12)的管口位于BBr3储瓶(11)的上部。

3.根据权利要求1所述的一种太阳能电池硼扩散装置，其特征在于，第三支管(12)、第四支管(6)、第五支管(8)、第六支管(10)上均设有控制阀(7)。