[发明专利]一种本征薄层异质结HIT低温银浆固化的方法和设备

权利要求书

1.一种本征薄层异质结HIT低温银浆固化设备，其特征在于，包括：

炉体(1)；

红外光谱加热装置，设置于所述炉体(1)内，用于通过红外光谱加热所述炉体(1)内的刷有预设厚度银浆(17)的硅片(18)；

排气装置，包括进气管(3)、通道壁上设有多个微孔的布气通道和充有气氛气体的送气管(5)；

所述炉体(1)的炉体壁上开设一排风装置安装通道(7)，用于通过所述排风装置安装通道(7)将排风装置与所述炉体(1)的内部连通；

其中，所述进气管(3)的一端位于所述炉体(1)的外侧，所述进气管(3)的另一端穿设所述炉体(1)的炉体壁且与所述布气通道的一端连接，所述布气通道的另一端与所述送气管(5)连接，所述送气管(5)设置于所述炉体(1)的内部，所述布气通道的气氛气体将加热的硅片(18)产生的有机气体带出，通过所述排风装置排出所述有机气体及所述气氛气体。

2.如权利要求1所述的本征薄层异质结HIT低温银浆固化设备，其特征在于，所述红外光谱加热装置包括：红外加热灯(6)；

所述炉体(1)，包括第一炉体部分(19)和与所述第一炉体部分(19)之间具有间隔的第二炉体部分(20)，且所述第一炉体部分(19)的炉体壁与所述第二炉体部分(20)的炉体壁之间的接触面形成有两个相对的第一开口，其中，所述两个相对的第一开口分别为传送与所述炉体(1)连接的驱动装置的传输皮带(9)的进入口和与所述进入口相对应的出口；

所述红外加热灯(6)位于所述第一炉体部分(19)内部或所述第二炉体部分(20)内部。

3.如权利要求1所述的本征薄层异质结HIT低温银浆固化设备，其特征在于，

所述布气通道设置方向与所述炉体(1)的长度方向一致、或者所述布气通道设置方向与所述炉体(1)的高度方向一致或者所述布气通道设置方向与所述炉体(1)的宽度方向一致；

所述布气通道开设于所述炉体(1)的炉体壁上，其中，所述布气通道的形状为矩形或者圆形；或者

所述布气通道为所述布气管(4)，其中，所述布气管(4)为直管或者弯管、所述布气管(4)径截面的形状为圆形、所述布气管(4)长度方向上的径截面的面积不同和/或所述布气管(4)的材质为陶瓷、塑料、碳纤维、玻璃或者金属材质；

所述多个微孔位于所述布气管(4)的管壁上的排列方式为非均匀排列方式或者均匀排列方式和/或所述多个微孔的每个微孔的直径不同；

所述气氛气体为压缩空气或者氮气。

4.如权利要求1、2或3所述的本征薄层异质结HIT低温银浆固化设备，其特征在于，所述的本征薄层异质结HIT低温银浆固化设备还包括：

与所述炉体(1)连接的驱动装置，包括：第一主动辊(11)、驱动电机(12)、驱动皮带(13)、驱动单元(16)及、穿设所述炉体(1)的炉体壁且贯穿所述炉体(1)的传输皮带(9)；其中，

所述第一主动辊(11)的重心处的径截面面积小于所述第一主动辊(11)两端的径截面面积、所述第二主动辊(15)的重心处的径截面面积小于所述第二主动辊(15)两端的径截面面积和/或所述至少一个传动辊(10)的重心处的径截面面积小于所述至少一个传动辊(10)两端的径截面面积；

所述驱动电机(12)与所述第一主动辊(11)连接，所述驱动皮带(13)包裹在所述第一主动辊(11)及所述驱动单元(16)的第二主动辊上(15)，所述传输皮带(13)包裹在所述第二主动辊(15)及所述驱动单元(16)的至少一个传动辊(10)上，所述传输皮带(9)与所述驱动皮带(13)包裹在所述第二主动辊(15)上的不同位置处；所述驱动电机(12)驱动所述第一主动辊(11)转动，依次带动所述驱动皮带(13)、所述第二主动辊(15)、所述至少一个传动辊(10)、所述传输皮带(9)转动。