[发明专利]一种本征薄层异质结HIT低温银浆固化的方法和设备

说明书

技术领域

本发明涉及太阳能电池导电银浆料领域，尤其涉及一种本征薄层异质结HIT低温银浆固化的方法和设备。

背景技术

HIT(Heterojunction with Intrinsic Thin-layer，本征薄层异质结)膜厚5～10nm。HIT太阳能电池是以光照射侧的p/i型a-Si膜和背面侧的i/n型a-Si膜夹住单结晶Si片的来构成的。HIT太阳能光伏电池基板以硅基板为主；在硅基板上沉积高能隙(Energy band gap)的硅奈米薄膜，表层再沉积透明导电膜，背表面有着背表面电场。通过优化硅的表面织构，可以降低透明导电氧化层(TCO)和a-Si层的光学吸收损耗。

由于HIT电池制备工艺温度低、转换效率高，工艺时间短及高温性好的特点，HIT电池所用材料在高温时导致印刷电极的材料只能采用低温银浆，电池表面印刷完导电银浆后，需要进行烘干，然后用不高于250℃的固化工艺将银浆与导电层(如TCO、ITO、IWO、IMO、IC-H、ZnO，等等)有效导电连接。传统的行业采用的低温银浆固化方法基本上采用了热风烘干炉体加热的方法，该热风烘干炉体加热，在固化时主要采用热风循环，热风烘干及固化从浆料的表面开始，导致残余的有机气体从银浆与硅片表面接触的地方逸出，要完全赶出有机物气体需要很长的工艺时间，并且会导致接触部位形成空洞，导致工艺时间长、固化后银栅线拉力偏低、光电转换效率偏低的问题。

发明内容

本发明实施例的目的在于提供一种本征薄层异质结HIT低温银浆固化的方法和设备，缩短工艺时间、提升固化后的银栅线拉力及太阳能电池的转换效率。

为达到上述目的，本发明实施例公开了一种HIT低温银浆固化设备，包括：

炉体；

红外光谱加热装置，设置于所述炉体内，用于通过红外光谱加热所述炉体内的刷有预设厚度银浆的硅片；

排气装置，包括进气管、通道壁上设有多个微孔的布气通道和充有气氛气体的送气管；

所述炉体的炉体壁上开设一排风装置安装通道，用于通过所述排风装置安装通道将排风装置与所述炉体的内部连通；

其中，所述进气管的一端位于所述炉体的外侧，所述进气管的另一端穿设所述炉体的炉体壁且与所述布气通道的一端连接，所述布气通道的另一端与所述送气管连接，所述送气管设置于所述炉体的内部，所述布气通道的气氛气体将加热的硅片产生的有机气体带出，通过所述排风装置排出所述有机气体及所述气氛气体。

优选的，所述红外光谱加热装置包括：红外加热灯；

所述炉体，包括第一炉体部分和与所述第一炉体部分之间具有间隔的第二炉体部分，且所述第一炉体部分的炉体壁与所述第二炉体部分的炉体壁之间的接触面形成有两个相对的第一开口，其中，所述两个相对的第一开口分别为传送与所述炉体连接的驱动装置的传输皮带的进入口和与所述进入口相对应的出口；

所述红外加热灯位于所述第一炉体部分内部或所述第二炉体部分内部。

优选的，所述布气通道设置方向与所述炉体的长度方向一致、或者所述布气通道设置方向与所述炉体的高度方向一致或者所述布气通道设置方向与所述炉体的宽度方向一致；

所述布气通道开设于所述炉体的炉体壁上，其中，所述布气通道的形状为矩形或者圆形；或者

所述布气通道为所述布气管，其中，所述布气管为直管或者弯管、所述布气管径截面的形状为圆形、所述布气管长度方向上的径截面的面积不同和/或所述布气管的材质为陶瓷、塑料、碳纤维、玻璃或者金属材质；

所述多个微孔位于所述布气管的管壁上的排列方式为非均匀排列方式或者均匀排列方式和/或所述多个微孔的每个微孔的直径不同；

所述气氛气体为压缩空气或者氮气。

优选的，所述的本征薄层异质结HIT低温银浆固化设备还包括：

与所述炉体连接的驱动装置，包括：第一主动辊、驱动电机、驱动皮带、驱动单元及、穿设所述炉体的炉体壁且贯穿所述炉体的传输皮带；其中，

所述第一主动辊的重心处的径截面面积小于所述第一主动辊两端的径截面面积、所述第二主动辊的重心处的径截面面积小于所述第二主动辊两端的径截面面积和/或所述至少一个传动辊的重心处的径截面面积小于所述至少一个传动辊两端的径截面面积；