[发明专利]一种旋转靶及磁控溅射装置有效
| 申请号： | 201610726371.7 | 申请日： | 2016-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN106319465B | 公开（公告）日： | 2018-11-09 |
| 发明（设计）人： | 张斌;詹裕程;孙雪菲;周婷婷;舒适;王新星 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 旋转靶 磁控溅射装置 磁控溅射技术 可拆卸连接 封闭结构 混合成型 旋转轴线 组分调整 靶材 | ||
1.一种旋转靶，其特征在于，包括多个靶单元，各个所述靶单元围绕旋转轴线可拆卸连接构成封闭结构；
所述封闭结构为圆环柱体；
各个所述靶单元的结构相同；
相邻两个所述靶单元中，其中一个所述靶单元的连接面上设有凸部，另一个所述靶单元的连接面上设有凹部，所述凸部可沿第一方向卡在所述凹部中，所述第一方向为所述连接面的垂线方向，以使得两个所述连接面相接触。
2.根据权利要求1所述的旋转靶，其特征在于，所述封闭结构包括一个封闭子结构，或者，包括沿所述旋转轴线方向依次可拆卸连接的至少两个封闭子结构；
每个所述封闭子结构由至少两个所述靶单元围绕旋转轴线依次可拆卸连接构成，且沿所述旋转轴线方向上，所述封闭子结构的高度与所述靶单元的高度相同。
3.根据权利要求1所述的旋转靶，其特征在于，所述凹部为燕尾槽，所述凸部为燕尾状凸起；或者，所述凹部为T形槽，所述凸部为T形凸起。
4.根据权利要求2所述的旋转靶，其特征在于，所述旋转靶还包括位于所述封闭子结构端部的紧箍环，以使得所述封闭子结构中的各个所述靶单元围绕旋转轴线依次连接。
5.根据权利要求1所述的旋转靶，其特征在于，相邻两个所述靶单元在旋转方向上的连接面与所述旋转轴线平行。
6.根据权利要求1-4任一项所述的旋转靶，其特征在于，每个所述靶单元由一种材料构成。
7.根据权利要求1-4任一项所述的旋转靶，其特征在于，在所述封闭结构为圆环柱体的情况下，所述旋转靶还包括支撑轴，所述支撑轴位于所述圆环柱体的中心孔中，且各个所述靶单元紧贴所述支撑轴的侧面。
8.一种磁控溅射装置，其特征在于，包括权利要求1至7任一项所述的旋转靶。
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