[发明专利]一种兼容式掩模化学品供液系统有效
| 申请号： | 201610789040.8 | 申请日： | 2016-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN106276764B | 公开（公告）日： | 2019-09-20 |
| 发明（设计）人： | 杨晨;张月圆;季书凤;沙云峰;刘维维;王兴平;尤春;薛文卿;刘浩;胡超 | 申请（专利权）人： | 无锡中微掩模电子有限公司 |
| 主分类号： | B67D7/02 | 分类号： | B67D7/02;B67D7/36;F04B15/00;F04B49/03 |
| 代理公司： | 北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙) 11411 | 代理人： | 黄冠华 |
| 地址： | 214000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 主电磁阀 抽液泵 加液桶 气控阀 输入端连接 供液系统 加液系统 设备本体 化学品 兼容式 加液 掩模 手动调节阀 压缩空气罐 液位传感器 工作原理 控制电路 系统装置 液位信号 自动抽液 自动打开 自动供液 输出端 液位 转化 | ||
【权利要求书】：
1.一种兼容式掩模化学品供液系统，其特征在于：包括集中加液桶(4)、气控阀(5)、第一主电磁阀(1)、第二主电磁阀(12)、手动调节阀(11)、控制电路和压缩空气罐(8),集中加液桶(4)连接抽液泵(2)，抽液泵(2)与第一主电磁阀(1)的输入端连接，第一主电磁阀(1)的输出端与数个气控阀(5)的输入端连接，气控阀(5)的输出端连接设备本体(7),设备本体(7)内部安装液位传感器(3),压缩空气罐(8)与第二主电磁阀(12)的输入端连接，第二主电磁阀(12)的输出端与手动调节阀(11)的输入端连接，手动调节阀(11)的输出端与分电磁阀(6)的控制端连接；所述控制电路包括继电器控制端(13)、第一主电磁阀(1)和继电器受控端(16)，继电器控制端(13)、第一主电磁阀(1)和继电器受控端(16)的电源输入端均与电源连接，继电器控制端(13)通过导线连接频率发生器(14)和第一主电磁阀(1)，继电器受控端(16)与分电磁阀(6)控制端连接。
2.根据权利要求1所述的兼容式掩模化学品供液系统，其特征在于：所述手动调节阀(11)与分电磁阀(6)之间安装压力表(10)。
3.根据权利要求1所述的兼容式掩模化学品供液系统，其特征在于：所述压缩空气罐(8)与第二主电磁阀(12)之间安装压力传感器(9)。
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