[发明专利]一种兼容式掩模化学品供液系统

说明书

本发明公开了一种兼容式掩模化学品供液系统，包括集中加液桶、气控阀、第一主电磁阀、第二主电磁阀、手动调节阀、控制电路和压缩空气罐,集中加液桶连接抽液泵，抽液泵与第一主电磁阀的输入端连接，第一主电磁阀的输出端与数个气控阀的输入端连接，本系统装置包括集中加液桶，然后根据不同设备不同时间，实施自动供液。工作原理为：例如其中一个设备本体内部加液槽低于设定液位时，液位传感器将液位信号转化为电信号发送到设备，设备会向加液系统发出一个请求加液的信号，加液系统会自动打开气控阀，同时启动抽液泵，开始自动抽液到设备本体。

技术领域

本发明涉及一种供液系统,更确切的说是一种兼容式掩模化学品供液系统。

背景技术

目前掩模工厂往往有多台设备使用统一规格的化学品溶液，每台设备内部都有一个或多个加液桶，由于设备内部加液桶一般是密封的，且由于环境和安全因素的要求，不允许人员直接往设备内部加液桶加液，设备会自带一个自动加液装置，溶液必须经过自动加液系统往设备内部自动加液。由于设备不同，自带的加液系统种类多，占用体积较大，人员需多次为不同设备的加液系统添加溶液，由于多次手动加液，容易造成溶液二次污染，且设备维护成本较高。

发明内容

本发明的目的是提供一种兼容式掩模化学品供液系统，能够解决上述的问题。

本发明为实现上述目的，通过以下技术方案实现：

一种兼容式掩模化学品供液系统，包括集中加液桶、气控阀、第一主电磁阀、第二主电磁阀、手动调节阀、控制电路和压缩空气罐,集中加液桶连接抽液泵，抽液泵与第一主电磁阀的输入端连接，第一主电磁阀的输出端与数个气控阀的输入端连接，气控阀的输出端连接设备本体,设备本体内部安装液位传感器,压缩空气罐与第二主电磁阀的输入端连接，第二主电磁阀的输出端与手动调节阀的输入端连接，手动调节阀的输出端与分电磁阀的控制端连接，所述控制电路包括继电器控制端、第一主电磁阀和继电器受控端，继电器控制端、第一主电磁阀和继电器受控端的电源输入端均与电源连接，继电器控制端通过导线连接频率发生器和第一主电磁阀，继电器受控端与分电磁阀控制端连接。

为了进一步实现本发明的目的，还可以采用以下技术方案:所述手动调节阀与分电磁阀之间安装压力表。所述压缩空气罐与第二主电磁阀之间安装压力传感器。

本发明的优点在于：本系统装置包括集中加液桶，然后根据不同设备不同时间，实施自动供液。工作原理为：例如其中一个设备本体内部加液槽低于设定液位时，液位传感器将液位信号转化为电信号发送到设备，设备会向加液系统发出一个请求加液的信号，加液系统会自动打开气控阀，同时启动抽液泵，开始自动抽液到设备本体。当号设备加液槽到达设定液位时，设备本体终止加液请求信号，同时集中加液桶停止供液，本次自动加液完成，同理其他设备自动加液也是如此。本系统的控制部分的电路图，该系统需伏直流电源、若干个继电器、电磁阀等部件。工作原理为：设备本体内部加液槽低于设定液位时，设备会向加液系统发出一个请求加液的信号，驱动继电器控制端，继电器控制端的一路闭合驱动频率发生器工作和第一主电磁阀，K继电器的另一路闭合驱动X电磁阀。分别就K继电器的工作原理介绍：K继电器的一路闭合驱动K频率发生器工作，产生脉冲频率，驱动X电磁阀，X电磁阀再驱动Y抽液泵，同时X电磁阀打开驱动Y气控阀打开，让液体通过Y阀。继电器受控端闭合驱动分电磁阀，打开气控阀，使液体通过气控阀进入到设备本体。控制流程为：设备本体的液位传感器发出加液请求信号，气控阀打开，抽液泵开始工作，抽液开始。设备本体已加满时，液位传感器停止发出加液请求信号，抽液泵停止工作，气控阀自动关闭，本次自动加液完成，同理其他设备自动加液也是如此。压力传感器为检测该供液系统压缩空气的压力，当压力传感器检测到压缩空气压力低于设定值时，第二主电磁阀关闭，确保压缩空气无法驱动后续的气控部件，保护供液系统的安全。手动调节阀作用是调节气动元件需求的气体压力，通过压力表能够直接观察压缩空气的压力值。本发明还具有结构简洁紧凑、制造成本低廉和使用简便的优点。

附图说明