[发明专利]一种可在水中对MEMS微结构进行激励的聚焦激波激励装置

权利要求书

1.一种可在水中对MEMS微结构进行激励的聚焦激波激励装置，包括基板，其特征是：在基板上设有支座和用于盛装水的椭球腔体，所述椭球腔体是由下腔体和上腔体密封连接而成，所述上腔体上端敞口使椭球腔体的内腔形成竖直布置的多半个椭球面，该椭球面的第一焦点位于下腔体内，第二焦点位于上腔体内；

在下腔体底部的中心孔内密封连接有支撑座，支撑座上端插入到下腔体内，在支撑座上端连接有连接套，在连接套上通过螺纹连接有安装座，在安装座上端轴向对称设有二个斜孔，二个斜孔的轴线在安装座上方相交，在二个斜孔内分别设有外套绝缘套的针电极；所述安装座的轴线垂直于所述椭球面第一焦点处的横截面且穿过椭球面的第一焦点，二个针电极的针尖位于所述椭球面第一焦点处的横截面上；

在所述支座上设有手动三轴位移台，在手动三轴位移台的Z轴溜板上通过一个悬垂吊架安装有微结构单元，微结构单元插入到上腔体内且位于椭球面的第二焦点处；该微结构单元包括与悬垂吊架下端连接的固定板，在固定板的中心设有阶梯状安装孔，在安装孔内可拆卸安装有微结构安装板，在微结构安装板上设有MEMS微结构；

二个针电极分别与高压电容的两极电联接，在高压电容与一个针电极之间设有第一空气开关，二个针电极的针尖之间的距离小于高压电容充分充电后在水中的最大击穿间隙；所述高压电容的两极分别电联接至高压电源的正负极，并通过第二空气开关控制通断。

2.根据权利要求1所述的一种可在水中对MEMS微结构进行激励的聚焦激波激励装置，其特征是：所述绝缘套为陶瓷管并通过顶丝固定在二个斜孔内。

3.根据权利要求1所述的一种可在水中对MEMS微结构进行激励的聚焦激波激励装置，其特征是：在连接套内设有压力弹簧，压力弹簧上端顶在安装座的螺孔内底部。

4.根据权利要求1所述的一种可在水中对MEMS微结构进行激励的聚焦激波激励装置，其特征是：所述微结构安装板通过圆周均布的螺钉固定在安装孔内阶梯处的环形平面上，在微结构安装板上设有与所述安装孔底部小孔相对应的通孔，MEMS微结构粘接在微结构安装板上。

5.根据权利要求1所述的一种可在水中对MEMS微结构进行激励的聚焦激波激励装置，其特征是：所述下腔体底部的中心孔为阶梯状，所述支撑座外缘为阶梯状且通过圆周均布的螺钉固定在下腔体底部的中心孔内，在支撑座上的阶梯卡沿与下腔体中心孔的内阶梯之间设有第一密封圈。

6.根据权利要求1或5所述的一种可在水中对MEMS微结构进行激励的聚焦激波激励装置，其特征是：所述下腔体和上腔体相互插接并通过螺钉连接，在下腔体上端与上腔体下端的内阶梯之间设有第二密封圈。

7.根据权利要求1～3任一项所述的一种可在水中对MEMS微结构进行激励的聚焦激波激励装置，其特征是：在安装座中部沿径向设有一个径向通孔，所述二个斜孔后端分别与径向通孔连通，以便于加工斜孔和安装导线。

8.根据权利要求7所述的一种可在水中对MEMS微结构进行激励的聚焦激波激励装置，其特征是：所述二个斜孔的轴线夹角为60度。

9.根据权利要求1或4所述的一种可在水中对MEMS微结构进行激励的聚焦激波激励装置，其特征是：所述悬垂吊架是由固定座、横杆和竖杆依次连接而成，固定座固定在Z轴溜板上，竖杆下端安装微结构单元。