[发明专利]超高纯四氯化硅的制备方法在审
申请号: | 201610880095.X | 申请日: | 2016-10-09 |
公开(公告)号: | CN106379902A | 公开(公告)日: | 2017-02-08 |
发明(设计)人: | 郭树虎;赵雄;严大洲;万烨;姜利霞;王芳 | 申请(专利权)人: | 洛阳中硅高科技有限公司;中国恩菲工程技术有限公司 |
主分类号: | C01B33/107 | 分类号: | C01B33/107 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司11240 | 代理人: | 赵囡囡,金田蕴 |
地址: | 471023 河南省*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 高纯 氯化 制备 方法 | ||
【权利要求书】:
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