[发明专利]晶圆清洗机的防喷溅装置

权利要求书

1.一种晶圆清洗机的防喷溅装置，该晶圆清洗机包含一晶圆承载装置及一围绕设置于该晶圆承载装置的周壁，该晶圆承载装置包括一承载吸盘，该防喷溅装置罩设于该晶圆承载装置外周围，其特征在于，该防喷溅装置包含：

一屏蔽单元，呈圆筒状并罩设于该晶圆承载装置外周围，该屏蔽单元包括一顶端，该屏蔽单元可相对于该晶圆承载装置在一收合状态及一展开状态之间变换，在该收合状态时，该屏蔽单元的该顶端与该晶圆承载装置的该承载吸盘顶面相间隔一第一距离，在该展开状态时，该屏蔽单元的该顶端与该晶圆承载装置的该承载吸盘顶面相间隔一第二距离，该第二距离大于该第一距离；及

一驱动机构，与该屏蔽单元相连接用以驱动该屏蔽单元在该收合状态及该展开状态之间变换。

2.如权利要求1所述的晶圆清洗机的防喷溅装置，其特征在于，该屏蔽单元包括一内屏蔽及一外屏蔽，该内屏蔽呈圆筒状并罩设于该晶圆承载装置外周围，该内屏蔽具有一上端及一下端，该外屏蔽呈圆筒状并具有该顶端，该驱动机构与该外屏蔽相连接用以带动其上升或下降，在该收合状态时，该外屏蔽是罩设于该内屏蔽外周围，该内屏蔽的该下端间隔位于该晶圆承载装置的该承载吸盘顶面下方一段距离，在该展开状态时，该外屏蔽凸伸出该内屏蔽的该上端，该内屏蔽保持不动。

3.如权利要求2所述的晶圆清洗机的防喷溅装置，其特征在于，该屏蔽单元更包括多个环设于该内屏蔽外侧且彼此相间隔的连接件，该外屏蔽具有一相反于该顶端用以抬升所述连接件的环形凸缘，当该屏蔽单元由该收合状态变换至该展开状态的过程中，该外屏蔽的该环形凸缘透过所述连接件将该内屏蔽向上抬升，使该内屏蔽的该上端间隔位于该晶圆承载装置的该承载吸盘顶面上方一段距离。

4.如权利要求3所述的晶圆清洗机的防喷溅装置，其特征在于，该内屏蔽包括一筒形围绕壁，及一形成于该筒形围绕壁顶端的锥形围绕壁，该筒形围绕壁界定该下端，该锥形围绕壁界定该上端，该锥形围绕壁形成有一位于该上端的开口，该锥形围绕壁的一外径大于该开口的一口径，所述连接件连接于该筒形围绕壁顶端。