[发明专利]微小金属矩形波导电化学制造方法

权利要求书

1.一种微小金属矩形波导电化学制造方法，其特征在于包括以下步骤：

步骤1、利用双微尺度线电极和纳秒脉冲电源对薄板工件进行微细电解线切割加工得到芯模；

步骤2、在芯模的表面电镀一层金层，其厚度大于该波导传输的太赫兹波的趋肤效应深度，为数十纳米至数微米,芯模两端无镀层；

步骤3、利用运动纳米粒子辅助精密电铸技术在电镀金层的表面电铸一层铜层，其厚度达到毫米级；

步骤4、利用纳秒脉冲电源和微尺度线电极对电铸铜层进行整平修整，并控制芯模和微尺度线电极的相对运动轨迹，加工出预先要求的轮廓；

步骤5、利用化学试剂选择性溶解芯模，从而得到内壁为电镀金层，外表面为电铸铜层的微小矩形金属波导。

2.根据权利要求1所述的一种微小金属矩形波导电化学制造方法，其特征在于：利用双微尺度线电极进行微细电解线切割加工上述步骤1中的芯模，芯模的横截面尺寸通过控制双微尺度线电极的间距和薄板工件厚度来保证。

3.根据权利要求1所述的一种微小金属矩形波导电化学制造方法，其特征在于: 上述步骤3所述运动纳米粒子辅助精密电铸技术电铸铜层的加工过程为：将表面电镀金层的芯模置于盛有纳米粒子的带孔隙的容器中，其中带孔隙的容器置于盛有电铸液的电铸槽中；电铸加工过程中，伺服电机通过机械平动机构带动芯模平动，在其表面电铸一层较厚的电铸铜层；由温度控制器和温度传感器实时检测电铸液的温度，通过加热管加热电铸液，并通过搅拌器不断搅拌电铸液。

4.根据权利要求1所述的一种微小金属矩形波导电化学制造方法，其特征在于：所述步骤1中的芯模材料为镍、铝或其合金材料；

当芯模的材料为镍时，步骤5所述的化学试剂为盐酸或硫酸溶液；

当芯模的材料为铝或其合金时，步骤5所述的化学试剂为碱性溶液。

5.根据权利要求4所述的一种微小金属矩形波导电化学制造方法，其特征在于：所述碱性溶液包括氢氧化钾、氢氧化钠溶液。